中古 ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293645322 を販売中
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ADE/KLA/TENCOR AFS 3220は、半導体ウェーハの電気的、光学的、機械的特性および性能に関連する複数のパラメータの信頼性と正確な測定を提供するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、一度に最大32個のウェーハを測定することができ、ウェーハのテストと分析のための高スループットレートを可能にします。このユニットはWindows 10で動作し、セットアップと操作が簡単な21インチのディスプレイを備えています。ソフトウェアパッケージを選択することで、マシンが処理できる測定範囲を広げることができ、幅広いアプリケーションをカバーすることができます。これには、統合された顕微鏡と3つの測定ヘッドが含まれており、ウェハの表面に完全にアクセスできます。ADE AFS 3220には高解像度イメージングツールが装備されており、表面トポロジや汚染レベル、線幅、重要寸法、オーバーレイ忠実度などのパラメータを正確に測定できます。自動パターン認識により、アセットはパターンを検出することができ、自動キャリブレーションと確認測定が容易になります。また、クローズトレランスのデバイス構造やその他のより複雑な設計を測定することができます。このモデルは10nmよりも精度が高いため、サブミクロンスケールのプロセス技術にも適しています。KLA AFS 3220には、ADE、 KLA、およびTENCORの複数の技術と技術が組み込まれています。ウェーハチャック、精密なXYステージ、および業界をリードする制御機器を備えた計測アーキテクチャに基づいています。高出力レーザー共焦点解析システムにより、精密な画像処理が可能です。また、電気測定用の精密で信頼性の高い渦電流センサも備えています。高解像度RGBイメージングユニットと振動絶縁光学を搭載し、測定精度をさらに高めています。AFS 3220は、幅広い基板およびアプリケーションで動作するように設計されています。モジュール式でスケーラブルな設計により、さまざまな生産環境に統合でき、生産ロットのサイズに関係なく信頼性の高い正確な測定が可能です。また、オペレータと機械を保護するための標準的な安全機能を備えており、24時間365日のウェーハ試験および検査作業に適しています。
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