中古 ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293641958 を販売中

ADE/KLA/TENCOR AFS 3220は、さまざまなウェーハテストおよび計測要件に対して高い精度と再現性を提供するウェーハテストおよび計測機器です。光学ウェーハ計測モジュール、ウェーハテスター、プロフィロメータ、データ収集システムで構成されています。データ収集ユニットは、テストおよび計測操作からデータを取得および保存し、プロセス制御に必要なデータを提供します。光学モジュールにユーザーに優秀な安定性および反復性を与えるように設計されている精密光学水晶裏付け版があります。様々な倍率と粒度でウェーハの画像を撮影することができ、多層マイクロプロセッサ制御イメージングマシンに依存しています。このツールは、ユーザーがウェーハの状態を最も正確に測定できるように、取得したデータにフーリエ解析や画像処理などのさまざまな種類の分析を費やすことができます。ウェーハテスターモジュールは、ショーツや開口部、パターン欠陥、電気欠陥など、さまざまな金型欠陥を検出および分析するように設計されています。このテスターは高解像度のパターン認識技術を使用しており、迅速で信頼性の高い欠陥検出を可能にします。また、高いスループットレートでテストを実行できるため、大量の生産要件に最適です。プロフィロメータモジュールは、ウェーハ表面のプロファイル、およびその他の表面特性を測定するように設計されています。プロフィロメータにはレーザーおよびナノメートル干渉計ヘッドが装備されており、サブミクロン精度でウェハのプロファイルを正確に測定できます。最後に、データ取得アセットは、データを収集し、他のすべてのモジュールから保存することができます。このデータは、ウェーハの品質を測定し、欠陥を検出および分析し、プロセス制御および歩留まり管理に必要な情報を提供するために使用できます。ADE AFS 3220モデルは、信頼性が高く、正確で反復可能なウェーハ試験および計測機器を必要とするあらゆる組織にとって理想的なソリューションです。幅広い機能で優れた精度を提供し、堅牢で費用対効果の高い省エネシステムを維持します。