中古 ADE / KLA / TENCOR 9800 UltraScan #9046074 を販売中
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販売された
ID: 9046074
Wafer characterization system, 8"
ULTRASCAN 9800 Flat top standard base system:
Wafer Size 6" and 8"
High Accuracy Noncontact Prealigner
E-Squared Advanced/Thickness, B/W Station
May accommodate up to 5 cassettes
Auto A Probe included
Advanced System Controller 2000 and Accessories: UPS (uninterruptible power supply)
System Software and Operating System: SCO 5.0 UNIX System
Included:
Part No. 9300-DEET
Robot Dual End Effector Teflon Coated - 135°
Part No. 7800-150-ASC2K
Standard ASC Software for ASC2000
Part No. 7800-180
15" ViewSonic Flat Panel Monitor
(2) Part No. 9300-36ND
Send "Universal" cassette station
(3) Part No. 9300-37ND
Receive "Universal" cassette station
Part No. 7800-6HZ
System configured for 60 HZ
Part No. 7820-220
Line Conditioner and Transformer, 4.8 kVA
Input Voltage: 220 V 50/60 HZ
Input: 9 Foot Linecord with L14-30P Plug
Output: (1) L14-30R Receptacle
Part No. 025106-01
Topside Non-contact type
N or P type wafers
Resistivity 0.1 to 200 ohm-cm
Part No. 444001 ReportTools
Part No. 9300-57EMI
High Range EMI, High-Accuracy
Resistivity Station
(0.200 - 199.9 ohm/cm)
Robot error when attempting to run calibration
Currently installed
2004 vintage.
ADE/KLA/TENCOR 9800 UltraScanは、半導体ウェーハの品質と特徴を評価するためにさまざまなテストを実行するデスクトップウェーハ検査および計測機器です。このシステムは、ウェーハの構造特性を決定するための高精度分析および計測機能を提供します。汚染物質や欠陥のスキャン、形状やサイズの特性評価、電気特性の測定、統計的なプロセス制御データの分析など、歩留まりの変動や製造時間を短縮するさまざまなテストを実施できます。ADE 9800 UltraScanには、半導体ウェーハを迅速かつ正確に検査できるさまざまな機能があります。自動化されたウエハハンドリングユニットを搭載し、迅速なサンプル交換機能を実現しています。また、ウエハの表面を高精細に表示するための高度なイメージングと光学を備えています。また、走査型電子顕微鏡や共焦点顕微鏡イメージングなど、様々な解析技術を駆使した幅広い用途に対応できるよう最適化されています。また、ウェーハ検査を容易にするさまざまな機能を備えています。ウェーハ上の汚染物質や欠陥を特定し、表面仕上げ品質を検証する分析機能を備えています。また、ピッチ、エッジプロファイル、半径などのウェーハ形状およびサイズの重要な電荷を測定するための詳細な検査および計測機能も備えています。さらに、KLA 9800 UltraScanには、SPCチャートと制御チャートを生成して生産歩留まりを監視し、製造不規則性を特定するための強力な統計プロセス制御（SPC）スイートがあります。また、リモートマシン制御とデータ共有のための高度なネットワーキング機能も備えています。コントローラをローカルまたはワイドエリアネットワークに接続するイーサネットポートと、他のシステムと統合するアプリケーションプログラミングインターフェイスを備えています。これにより、9800 UltraScanをファクトリーオートメーションおよびデータ管理システムに導入できます。全体として、TENCOR 9800 UltraScanは強力で高精度のウェーハ試験および計測機です。高度なイメージングと光学、自動ウェーハハンドリング、分析機能、詳細な検査と計測機能、強力なSPCスイートなど、さまざまな機能を提供します。さらに、リモートコントロールとデータ共有のための高度なネットワーキング機能を備えています。これにより、半導体ウェーハの評価や生産歩留まりのモニタリングに最適です。
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