中古 ADE / KLA / TENCOR 9600 #9240649 を販売中

ADE/KLA/TENCOR 9600は、ADEが開発したウェハテストおよび計測機器です。ADE 9600は、2006年の導入以来、薄型ウェーハ上の小さな機能を高速かつ正確にテストできるため、半導体およびフラットパネルディスプレイ業界で広く採用されています。KLA 9600システムはHBO （Horizontal Build Optics）ユニットを備えており、ウェーハの特徴サイズ、形状、および一貫性を高速で正確に測定できます。この機械は優秀な正確さの30nmまで10 umの範囲の特徴のサイズを正確に測定することができます。TENCOR 9600には5umまでの高解像度イメージングシステムが搭載されており、ウェーハ表面の小さな特徴や欠陥を高精度にイメージングできます。9600ツールはパフォーマンスメトリクス分析も可能で、プロセス制御とサイクルタイムを短縮できます。このアセットは、オーバーレイ、クリティカル・ディメンション（CD）、画質、ウェーハ回転などのメトリックを使用して、プロセス条件を迅速に診断および改善します。さらに、ウエハー表面のオーバーレイ、レジスト欠陥、汚染の組成を解析することができます。ADE/KLA/TENCOR 9600装置は、静的環境または動的環境で継続的なテストを実行するように設計されたバックエンドシステムで、高い信頼性を念頭に置いて設計されています。また、キャリブレーション機能、自動結果処理、高速画像解析、自動圧力アプリケーションなど、フルスイートの自動化機能で設計されています。さらに、ADE 9600マシンは、1つのウェーハから次のウェーハテストを追跡し、ウェーハの欠陥を瞬時に検出し、修正を容易にするための中央統合ソフトウェアプラットフォームとインタフェースするように設計されています。このツールは、歩留まりと品質データに関する迅速なフィードバックをユーザーに提供することもできます。結論として、KLA 9600は半導体およびフラットパネルディスプレイ業界で広く採用されている高度なウェーハ試験および計測資産です。HBO （Horizontal Build Optics）モデルと高解像度イメージングシステムを搭載しており、ウェーハ機能を正確にテストできます。