中古 ADE / KLA / TENCOR 9600 #9229873 を販売中

ADE/KLA/TENCOR 9600は、ウェーハに適用される加工ソリューションと材料の両方から3D地形および表面特性を高精度に測定できるように設計されたウェーハ試験および計測機器です。最先端の研究開発に必要な柔軟性と、商業生産アプリケーションに必要な信頼性を提供します。デュアルビーム、非接触、散乱測定の原理で動作するこのシステムは、高速かつ正確な解析機能を備えています。赤外線（IR） CCDカメラを使用して、テストされたサンプルから生じる光学散乱信号から地形データを収集します。このユニットは、ユニークなブロードバンドとイメージングコンテキストで、さまざまな励起波長で動作します。これにより、フィルムとテクスチャの特性をより正確に評価し、毎秒1,000点以上の合計測定を行うことができます。このマシンはまた、フィードバック制御を内蔵したフルフィールドまたはシングルポイントの電圧コントラストイメージング（VCI）も提供します。この機能により、非接触型ウェーハ上のナノレベルの表面画像やプロファイルをキャプチャすることができ、ウェーハの平坦性と反りを特徴付けることができます。計測機能に加えて、ADE 9600は非接触ウェーハ解析機能を備えており、1つのウェーハで最大100枚のフィルムまたはレイヤーを測定できます。これは、標準的な接触測定技術よりも高い解像度でウェーハの厚さを測定するために、グローバルキャビティレゾネータを使用しています。KLA 9600に組み込まれた高度な光学および画像処理により、研究および生産環境に最適です。最大スループット、トップダウンイメージング、マッピング機能により、9600はウェハレベルの製品を検査するのに最適なツールです。統合されたソフトウェアコントロールにより、ユーザーはプロセスパラメータを構成し、ウェハテストの結果を監視、追跡、分析することができます。結論として、TENCOR 9600は、あらゆる半導体の研究および製造環境にとって不可欠なツールです。その高精度で最先端の測定機能により、ウェーハテストと計測プロセスが合理化され、より正確な測定データが得られます。ADE/KLA/TENCOR 9600は、幅広いマッピング、イメージング、解析技術により、最も要求の厳しいウエハテストアプリケーションで高いパフォーマンスと信頼性を保証します。