中古 ADE / KLA / TENCOR 9600 #9095972 を販売中

ADE/KLA/TENCOR 9600装置は、高度なイメージング機能とウェーハレベルの計測機能を使用して、ウェーハとそのコンポーネントを正確に測定、分析、特性評価するウェーハテストおよび計測システムです。高解像度スキャン技術とイメージング技術により、高精度かつ高精度な結果を得ることができます。機械の試験部分については、欠陥検査とサイジング（DIS）と呼ばれる特許取得済みの光学スキャン技術が欠陥を探してウェーハ表面全体をスキャンします。これらの欠陥は、画像認識アルゴリズムを使用して自動的に測定、分類、分析することができます。このツールは、別々のカラーチャネルと広角と狭角の両方の光学系を使用することで、残留物、粒子、亀裂などのさまざまな欠陥を正確に特定し、サイズを調整することができます。アセットの計測部分は、ウェハ構造の正確な寸法を提供することができます。高解像度の光学モデルと高速ウェハレベルの自動アライメント装置を組み合わせ、サブミクロンの精度で詳細な測定を行います。このシステムは、ステップの高さ、厚さ、および接触面積などの幅広いパラメータを測定できます。また、地形解析のために表面の高解像度画像をキャプチャすることも可能です。ADE 9600マシンは、パラメータの簡単なセットアップと制御を可能にするユーザーフレンドリーなインターフェイスを持っています。ウェーハ表面の欠陥を迅速に特定し、修正できるように設計されており、歩留まりの向上と製造プロセスの改善につながります。パス/フェイル検査機能を自動化し、データ分析を自動化することで、ウェーハテストと計測結果の詳細を手動で行うことができます。