中古 ADE / KLA / TENCOR 9600 / 9700 #9008898 を販売中

ADE/KLA/TENCOR 9600/9700ウェーハ試験および計測装置は、半導体メーカーがウェーハの分析とマッピングを支援するために設計された最先端の計測システムです。光学、化学、電気、機械の組み合わせを利用して、さまざまなプロセス工程を包括的に分析します。このユニットは柔軟なモジュール設計に基づいており、既存の試験および分析プロセスに容易に統合できます。ADE 9600/9700は、抵抗、容量、厚さ、表面形状、組成などの計測を含むさまざまなパラメータを測定することができ、9700は高度な欠陥検出および特性評価機能を備えています。9600および9700システムは、最大2TBのデータを格納できる強力なデータ収集および分析プラットフォームを中心に構築されています。この機械は、個々の半導体メーカーの特定のニーズに合わせてカスタマイズすることができ、高いスループットと精度の両方を可能にします。このツールは手動と自動の両方のプロセスを実行でき、開発テストと生産テストの両方に使用できます。シングルチップからウエハ径450mmまでの様々なサンプルサイズの測定が可能で、露出や酸化によるドリフトのない信頼性の高い正確な測定値を提供するように設計されています。KLA 9600/9700アセットには、高解像度ウェーハ測定用の8レベルCCDイメージングモデル、表面形状測定用の高解像度光学プロフィロメータ、2Dおよび3D静電容量測定用の抵抗センサなど、幅広い光学、機械、電気測定機器が搭載されています。その他の機能として、ウェーハ上のショートやオープン回路の照明検出用の低暗電流/セルフテスタビリティ機器、欠陥位置および特性評価用の欠陥レビューシステムなどがあります。TENCOR 9600/9700は、高いスループットと精度のために設計された高度な計測およびウェーハ試験ユニットです。このマシンはモジュラー設計を備えており、お客様は必要に応じて機能を追加および拡張できます。これにより、半導体メーカーにとって非常に貴重なツールとなり、包括的なウェハテストと計測機能を提供します。