中古 ADE / KLA / TENCOR 9520 UltraGage #9397228 を販売中

ADE/KLA/TENCOR 9520 UltraGageは、精密な半導体デバイス測定用に設計されたウェハテストおよび計測機器です。3D光学非接触表面画像技術を使用して、表面フィーチャーおよびプロセス誘発欠陥の高速かつ正確で再現可能な測定を生成します。また、複雑なウェーハトポグラフィ解析や制御に対応する高度なマッピング、プロファイル、GageLinx、検査アルゴリズムも提供しています。ユニットの光学部品は毎秒最大100,000のデータポイントを検出することができ、ウェーハの地形全体を包括的に分析することができます。ADE 9520 UltraGageは、光学イメージングおよび欠陥検出機能の両方のデータをキャプチャする高解像度CCDカメラも備えています。CCDカメラと表面光学の配列を使用することにより、マシンは、サイズ1nmまでの表面の特徴を検出することができます。データ収集に加えて、KLA 9520 UltraGageは強力な計測分析とレポート機能をユーザーに提供します。このソフトウェアは、新しい測定が収集されると自動的に更新される高さマップやプロファイルグラフなどの視覚化の完全なセットを提供します。これにより、プロセスに起因する欠陥をリアルタイムで特定し、プロセスのパラメータを調整して品質管理を確実にすることができます。このツールのデジタル入出力および自動化サポートは、既存のプロセス制御システムとの完全な統合を可能にし、製造条件をリアルタイムでフィードバックできます。アセットの強力なエラー回避機能は、ウェーハ生産における潜在的な問題を検出し、必要なコース修正を開始します。9520 UltraGageは、ADE AS2 Insightソフトウェアと組み合わせて、簡単なセットアップ、キャリブレーション、および操作のための直感的な動作環境を提供します。ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、モデルをさまざまなアプリケーションに設定でき、研究および生産アプリケーションに最適です。TENCOR 9520 UltraGageは、フォームと欠陥の両方を迅速かつ信頼性の高い正確な測定を提供する、市場をリードするウェーハテストおよび計測システムです。自動化された光学および欠陥検出機能と強力な計測分析およびレポート機能を組み合わせて、最適な品質保証とプロセス制御を提供します。AS2 Insightソフトウェアと組み合わせて使用すると、ユーザーは生産プロセスに関する貴重な洞察を得て、スループットとコスト削減を最大化できます。