中古 ADE / KLA / TENCOR 9520 UltraGage #9164709 を販売中

ADE/KLA/TENCOR 9520 UltraGageは、半導体業界に精密で高品質な測定を提供するために開発されたウェーハ試験および計測機器です。これは、ダイおよびフィーチャーサイズ、膜厚、コーティング、ウェハマップ計測など、さまざまなウェハテストおよび計測アプリケーションに迅速かつ正確な結果を提供するように設計されています。また、ウェーハ特性を自動測定・解析し、統計情報や歩留まり情報を取得することも可能です。このシステムは、ウェーハの広い領域にわたってプロファイルを自動的にマッピングすることができるX-Yステージを備えた超精密な測定ユニットを備えています。リニアモータ、2軸位置精度1ミクロン未満、25ナノメートル未満の再現性を備えています。また、高解像度CCDカメラを搭載し、ウェーハ形状や表面形状を詳細に可視化できます。このツールはまた、さまざまな角度から正確な読み取りを保証するために広い視野を利用し、測定精度を向上させます。性能テストのために、レーザー干渉計が結果をテストする前例のない正確さを提供するのに使用されています。それは正確な結果を提供するために高速測定機能、適応クロッキングおよびジッタリングのフィードバックを特色にします。この資産には、統合されたマイクロプロセッサとデータ収集モデルも含まれており、測定基準とデータ取得のプログラミングが可能です。この機器は使いやすいインターフェースを備えているため、ユーザー固有のパラメータを素早く簡単に設定して保存できます。最後に、このシステムにはサンプルウェーハの温度試験を可能にする統合されたサーマルチャンバーが含まれています。また、プログラマブルモジュラーコントローラを備えており、最大4つのサーマルモジュールを同時に制御することができます。この機能により、手動で温度制御を行う必要がなくなり、正確で正確な試験結果が得られます。最先端の技術と正確な測定機能を備えたADE 9520 UltraGageは、半導体業界向けの強力なウェハテストおよび計測ツールです。正確で信頼性の高い試験結果を迅速かつ簡単に提供するように設計されており、高品質の製品を迅速かつ正確に生産できます。