中古 ADE / KLA / TENCOR 9500 #9193767 を販売中

ADE/KLA/TENCOR 9500ウェハテストおよび計測システムは、幅広い半導体技術のための高度なテスト機能を提供します。ADE 9500は、軽量でフラットパネルデザインと強力なモータを備えており、比類のないウェーハアライメント精度と高速スキャンを可能にします。高感度、高解像度のレーザーを搭載し、迅速かつ正確な欠陥検出を実現します。KLA 9500の高度なイメージスキャン光学系は、5倍以上の範囲のサブミクロン欠陥を自動的に検出して認識し、100Mpixel CCDカメラは広視野画像と高倍率ピクセルの両方をキャプチャします。さらに、トップダウンのレーザーベースのフォーカス検査技術により、画像のキャプチャと測定をサポートします。このシステムは、包括的なテストスイートの一部として、包括的なYieldStar-APCおよび臨界寸法ウェハテストを実施できます。YieldStar-APCは、完全なプロセスカバレッジと堅牢なプロセス障害相関の両方について、チップレベルの重要な機能を評価します。その臨界寸法テストスイートは、エッジのみ、斜め、面積、ラウンド測定などの包括的な測定を提供します。さまざまな環境で一貫した性能を確保するために、TENCOR 9500は、試験目的で異なるガス組成、圧力、湿度レベルに対応するように調整することができます。9500のモジュラーアーキテクチャは容易な拡張を可能にし、必要に応じてアップグレード、変更、カスタム構成を可能にします。また、使いやすく、直感的なコントロールとメニューナビゲーションにより、より迅速で効率的な操作を実現するように設計されています。ADE/KLA/TENCOR 9500は、ウェーハプローブ試験、計測アプリケーション、プロセス監視など、さまざまなアプリケーションにとって費用対効果の高いソリューションです。その高度な機能により、信頼性の高い高品質な結果が得られ、正確で費用対効果の高い試験ソリューションを求めるメーカーにとって理想的なソリューションとなります。