中古 ADE / KLA / TENCOR 9500 UltraGage #133688 を販売中
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ID: 133688
Wafer dimensional measurement system
Includes:
Main body / head unit
Cassette loader
UPS
Test sample
Missing computer.
ADE/KLA/TENCOR 9500 UltraGageは、幅広いウェーハ形状およびアプリケーションにおいて、高精度と信頼性を実現するよう設計された先進的なウェーハテストおよび計測機器です。この高度なシステムは、テスト中のデバイスの形状、サイズ、形状を測定および制御するために特別に設計された4 "XYZステージを備えています。その高度な機能には、2次元(2D)測定、3次元(3D)測定、裏面測定、アライメントおよび配置測定が含まれます。このユニットは、感度調整とウェーハキャリブレーションを自動化し、ユーザーの介入を必要とせずに高精度な結果を提供します。32ビットのReal-Time 64-bit Digital Signal Processor (DSP)とプログラマブルコントローラを備えたADE 9500 UltraGageは、信号処理とデータロギング操作を数分で生成できます。さらに、ウェーハトレーシングおよびマッピング、ダイダイ評価、レシピモジュール、輪郭処理にも使用でき、幅広い計測ニーズに対応できます。KLA 9500 UltraGageは、ウエハの細部を1。5ミクロンまでキャプチャできるイメージングツールを採用しています。これは高度な信号処理アルゴリズムと組み合わされているため、3。5ナノメートルの小さい特徴を正確に識別してマッピングすることができます。その他の機能として、パターン認識、クロス補正、自動スレッショルドなどがあります。データ精度を高めるために、アセットには、環境、ノイズ、ドリフト、シャドーイング効果を排除する波形処理アルゴリズムが装備されています。この機能は「シグネチャー」と呼ばれ、ウェーハ間のリアルタイム比較を可能にするウェーハのスポットテストに使用されます。シグネチャーモードは、テスト中のデバイスのフォーカス、傾き、再現性を測定する際にユーザーを支援します。9500 UltraGageには、最大500のレシピと最大25,000フレームのビデオを保存する機能もあり、ユーザーは必要なすべての関連データを使用して非常に詳細なレポートを生成できます。パターン認識と高度な機能検出も備えており、直感的なユーザーエクスペリエンスを提供します。精度と信頼性を確保するために、TENCOR 9500 UltraGageは、ウェーハ試験と計測結果を向上させるための高度な振動および温度補正モデルで設計されています。統合されたイメージストレージ機能を備えており、ユーザーは画像、分析、レポートに迅速かつ効率的にアクセスできます。最大4インチのウェーハサイズで、小型ウェーハと大型ウェーハの両方で迅速かつ簡単に試験および計測タスクを実行できます。ADE/KLA/TENCOR 9500 UltraGageは、強力で高度なウェーハテストおよび計測機器であり、幅広いウェーハジオメトリとアプリケーションにわたって優れた正確な結果を提供できます。高度なプロセッサと高度なアルゴリズムで構築されたADE 9500 UltraGageは、高速で信頼性の高いテストを提供し、ユーザーは効率的で正確な計測結果と競争力を維持することができます。
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