中古 ADE / KLA / TENCOR 9350 #9128720 を販売中
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ID: 9128720
System
ASC controller
RES station
Pre aligner
(2) cassette stations
Rest station
ARM robot
E station.
ADE/KLA/TENCOR 9350は、写真リソグラフィ、化学機械研磨(CMP)、沈着など、さまざまなプロセスに適したウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、統合された計測とウェーハ検査サブシステム、および制御サブシステムの2つのコンポーネントで構成されています。統合されたサブシステムは、効率的なテストと計測プロセスを可能にし、このユニットは多くの産業用に理想的な選択肢となります。統合された計測およびウェーハ検査サブシステムは、高解像度イメージング光学、追加の照明ツール、および自動計測機で構成されています。このイメージングオプティクスは、顕微鏡イメージング、特徴測定、欠陥特性評価、輪郭マッピングなど、包括的な分析を可能にします。照明器具はウェーハの均一な照明を可能にし、光の強度の極端によって引き起こされる画像の収差を減らすのに役立ちます。自動メトロロジーツールは、ウェーハの画像を複数の角度から即座にキャプチャして保存し、詳細な分析と特性評価を可能にします。ADE 9350の制御サブシステムは、高性能コントローラとユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)で構成されています。コントローラはプロセスパラメータを制御するために使用されますが、GUIを使用すると、自動テストおよび計測プロセスを設定し、取得したデータをリアルタイムで表示できます。ユーザーフレンドリーなGUIにより、ユーザーはさまざまなウェーハの画像を保存することができます。また、欠陥認識、パターン認識、プロセス制御などのデータ処理も可能です。全体として、KLA 9350は効率的で信頼性の高いウェハテストおよび計測資産であり、多くの産業アプリケーションに適しています。統合された計測およびウェーハ検査サブシステムは、ウェーハの包括的な分析と特性評価を提供し、制御サブシステムは使いやすく、自動化されたテストおよび計測プロセスを可能にします。この2つのサブシステムを組み合わせることで、ウェーハの正確で信頼性の高い試験と計測が可能になり、多くのプロセスに理想的な選択肢となります。
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