中古 ADE / KLA / TENCOR 780 MRT #9132937 を販売中

ADE/KLA/TENCOR 780 MRTは、半導体製造用の高度なウェーハ試験および計測機器です。ウェーハプロセスの特性評価とプロセス欠陥の特定を支援し、プロセスのパフォーマンスに関する洞察を提供し、最終的に製造コストの削減に役立ちます。ADE 780 MRTは、ウェーハ表面の電気特性を測定するためのセンサーと、ウェーハ表面の詳細な画像処理用のイメージキャプチャシステムを備えた2つの測定ヘッドを備えています。これらの測定ヘッドは、ウェーハスペクトル反射、欠陥のイメージング、電気漏れ測定、およびウェーハフラットおよびワープ測定を実行します。2つの測定ヘッドを同時に使用して、インラインとオフラインの両方の測定を行うことができます。他のヘッドがリアルタイム測定の準備ができている間、ウェーハはインラインで処理することができます。この機能により、生産サイクルにおける欠陥の早期発見と、プロセス改善または欠陥防止のための迅速なフィードバックを可能にします。インライン測定は、ウェーハの清浄度、誘電層厚さ、平坦度など、プロセスのさまざまな側面を追跡するために使用できます。その後、オフライン測定を使用して欠陥を検出および特性評価し、非均一性を処理し、表面粗さ、酸化物/シリコン比、汚染レベルなどの重要な仕様を監視できます。KLA 780 MRTはまた、広範な分析機能を提供し、テストされている材料に関する詳細な情報を提供し、ユーザーがウェーハの傾向と異なるウェーハのロット間をすばやく理解できるようにします。このユニットは、測定から収集されたデータのマルチパラメータ散乱図を生成し、問題を特定して是正措置を導くことができます。さらに、測定から収集したデータを分析するための計測関連ソフトウェアソリューションを幅広く提供しています。これらのソリューションは、詳細なレポートを提供し、統計分析を実行し、ウェーハ上のさまざまなサイト、およびさまざまなウェーハロットからのデータを比較することができます。780 MRTは汎用性が高く、防塵キャビネット、自動ウェーハステージングツール、統合監視アセット、温度および湿度制御など、さまざまなハードウェアオプションでカスタマイズできます。全体として、TENCOR 780 MRTはウェーハテストと計測のための包括的で汎用性の高いプラットフォームを提供し、お客様がウェーハプロセスを最大限に活用できるようにします。プロセスの問題を迅速かつ正確に特定し、特定し、是正措置に必要な情報を提供します。