中古 ADE / KLA / TENCOR 7000 #98411 を販売中

ADE/KLA/TENCOR 7000は、エッチング、蒸着、抵抗、アライメントなどの製造プロセスの性能を測定および監視するために設計された高精度ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、さまざまな高度なツールと技術を使用して、最大200mmの直径のウェーハを検査および測定することができます。ADE 7000は、高速スキャンヘッド、3次元チャック、ビジョンユニット、プロセス制御ソフトウェアの4つの主要コンポーネントで構成されています。スキャンヘッドにはAlignMark™ビジョンマシンが装備されており、ウェハ上で毎秒数千の場所を測定することができます。3次元チャックは完全な3次元測定機能を可能にし、オペレータはより正確な測定のためにウエハの特定の部品の位置を調節することを可能にします。このビジョンツールは、XY寸法や線幅などの重要なデバイスパラメータを測定できる強力な光学顕微鏡で構成されています。KLA 7000はRS232インターフェイスも備えており、他のほとんどの標準コンピュータに接続することができます。これにより、アセットはインピーダンスアナライザなどの他の機器とインターフェースしてウェーハの抵抗を測定できます。さらに、詳細なグラフィカル結果をオペレータに提供するモデルには、多くの高度なデータ分析およびレポート機能が組み込まれています。この装置はまた、製造プロセス中に簡単に調整および監視できるプロセスパラメータの完全なリストを提供します。これにより、オペレータは測定の精度を最大化し、一貫した高品質の結果を保証することができます。さらに、システムは高度にカスタマイズ可能であり、さまざまなアプリケーションで使用できます。全体的に7000は、正確で信頼性の高い測定結果を提供するように設計された高度なウェーハ試験および計測ユニットです。強力な光学顕微鏡、3次元チャック、高速スキャンヘッド、プロセス制御ソフトウェアを提供し、さまざまな製造プロセスで正確な結果を保証します。さらに、このマシンは高度にカスタマイズ可能であり、さまざまな高度なデータ分析およびレポート機能を提供します。