中古 ADE / KLA / TENCOR 7000 #9018651 を販売中

ADE/KLA/TENCOR 7000は、ウェーハ材料の包括的な性能評価用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。ユニットは、必要なツールと測定機能を収容するテストヘッドモジュールを含むいくつかのコンポーネントで構成されています。このモジュールは、ウェーハトポグラフィ、欠陥サイズ、表面汚染レベル、ドーピングレベル、シート抵抗など、さまざまなパラメータを測定できます。このモジュールを使用すると、標準的なパラメトリックテストに加えて、さまざまな種類のテストをカバーできます。また、OSA （On Board Spectrum Analysis）サブシステムも搭載しており、高速なウェーハ特性評価が可能です。このサブシステムは、ラマン分光法を利用して光学特性を測定し、試験される材料の組成と純度についての洞察を提供します。統合された光学エンジンは、完全な可視スペクトル上のラマンスペクトルをキャプチャします。本機には高解像度ビデオカメラを装備し、試験中にウェーハ内部を検査します。このカメラは、材料の欠陥を特定するために使用される明確な画像をキャプチャします。また、ユーザーはツールをカスタマイズしてさまざまなフォトリソグラフィー層を測定し、開発プロセスパラメータを決定することができます。この資産は、様々な試験技術を組み合わせて正確な結果を出すように設計されています。このモデルは、信頼性とトレーサビリティのために国際標準ユニット（ISU）にトレーサブルなウェーハ物理、電気、および光学試験結果を生成することができます。さらに、このユニットは、テストの完了時に第三者認定レポートを作成することもできます。ADE 7000は、Windowsベースのオペレーティング機器を搭載しているため、操作が簡単で使いやすいです。ユーザーは、システムのテストパラメータをリアルタイムで監視し、ウェーハテストを進行中に監視することができます。また、サンプル材料の試験結果と比較結果をまとめたレポートも作成しています。さらに、機械は他のソフトウェアソリューションと統合することができ、迅速かつ効率的なデータ転送を可能にします。全体として、KLA 7000はウェーハテストと計測のための包括的なソリューションです。その多様な機能により、ツールは精度と精度で様々なパラメータを測定することができます。ユーザーフレンドリーなインターフェイスは、資産を使用してデータを簡単に転送することもできます。これらの機能を組み合わせて、モデルはあらゆる生産ラインのニーズを満たすことができます。