中古 ADE / KLA / TENCOR 6035 #293654293 を販売中

ADE/KLA/TENCOR 6035は、ADE Corp。によって開発された世界をリードするウェーハ試験および計測機器で、半導体ウェーハの検査、測定、特性評価を可能にする高度な非接触白色干渉（WLI）を利用しています。WLI技術は、ウェーハから干渉パターンを収集し、このパターンから表面の地形を計算することによって動作します。低歪みイメージベースの変位センサを使用し、高い空間精度を実現したオブジェクトビームです。オブジェクトビームは、z-piezometerサーボ制御XYステージに従ってサンプルをスキャンするリファレンスビームにオーバーレイされ、サンプル全体で迅速かつ信頼性の高い横方向スキャンを提供します。ADE 6035は、最大16種類のパラメーターを一度にキャプチャすることができ、粒子や表面の地形、平坦度、ステップハイト、弓と弓の繰り返しなど、さまざまな欠陥や計測測定を可能にします。これらの測定は、特殊な光学フィルターを使用して、暗視野と明視野の両方で行うことができます。このユニットにはコンターベースのサーフェス解析プログラムも含まれており、複数のサーフェスの結果を同時に比較することができます。この機能により、サーフェスデータのパターンや傾向を可視化し、サンプル間の相関関係を特定することができます。さらに、機械には再測定機能があり、時間の経過とともに特定の機能を慎重かつ信頼性の高い測定が可能です。最後に、KLA 6035は、ジョブクローニングや特定のテストの迅速なロードなどの機能を備えた、サンプル管理のための独自のカスタマイズされたレイアウトを顧客に提供することができます。これは、複数のウェーハを同時に定期的に検査する人に特に便利です。要約すると、6035ウェーハテストおよび計測ツールは、マルチパラメータ測定、輪郭表面解析、カスタマイズ可能なサンプル管理などのさまざまな利点を提供する高度な非接触WLIソリューションを提供します。この資産は、複数のウェーハを同時に検査して測定する必要がある半導体業界の人々にとって理想的です。