中古 ADE / KLA / TENCOR 6034 #9162772 を販売中

ADE/KLA/TENCOR 6034ウェーハ試験および計測装置は、製造前および製造後の半導体検査および計測に最適な完全自動検査装置です。これは比類のないインラインおよびオフラインのウェーハ検査性能を提供し、迅速な最終歩留まりと封じ込めを可能にします。ADE 6034システムは、白色散乱計、カラーイメージング、SLRDなどの最新のウェーハ表面解析技術を利用しています。この技術の組み合わせは、あらゆる欠陥、粒子の汚染、傷、エッジチッピング、またはその他の異常を迅速かつ正確に検出して識別するのに役立ちます。このユニットは、その寿命中に高い信頼性を達成するように設計されているだけでなく、ウェーハの最小スクラップレートを提供します。本機は高解像度のCCDカメラを採用しており、ウェハセンターからのエッジ観察、異常の分析、信頼できる分類が可能です。これにより、各サイクルで信頼性の高い検査結果が提供されます。KLA 6034はまた、強力なソフトウェアエンジンと高度なアルゴリズムを使用して、一貫した信頼性の高いデータを迅速かつ正確に生成できます。リネージの粗さ、線幅、金属分析、トポグラフィーマッピングなど、初期の製造段階であらゆる種類の欠陥や異常を検出することができます。これにより、最も正確で信頼性の高いプロセスデータが可能な最短時間で取得されます。TENCOR 6034は、高度なインダイメトロジーも提供しています。ブライトフィールドレビュー、光学顕微鏡、臨界寸法（CD）測定、オーバーレイ測定、SATスクリブラインレビューなど、いくつかの技術を統合しています。これにより、サイズや複雑さに関係なく、あらゆるサンプルを完全に測定できます。6034は、生産の中断を少なくすることにより、コストを削減するのに役立ちます。既存の半導体製造ラインに簡単に統合でき、オフラインとインラインの両方の処理に使用できます。このツールは、あらゆる生産プロセスの最大限の最適化を保証し、スループットの向上と市場投入までの時間の短縮に役立ちます。最後に、このアセットは高いデータスループットを提供し、より迅速なデータスループットとサイクルタイムの短縮を実現します。さらに、現在市場で入手可能な最も信頼性が高く、堅牢で正確なウェーハテストおよび計測システムの1つです。