中古 ADE / KLA / TENCOR 6034 #293654292 を販売中

ADE 64は、自動ウェーハ試験および計測機器です。このツールは、ウェハテストと測定プロセスに関して最高のパフォーマンスを提供するように設計および開発されています。これは、干渉計を使用してウェーハの特徴をミクロンレベルの精度で測定する最先端の光学センシング技術に依存しています。システム自体は、多数のコンポーネントで構成されるモジュラーアーキテクチャを中心に構築されています。これらのコンポーネントには、コントローラーユニット、テストおよび計測ヘッド、ウェーハステージ、およびレーザーソースが含まれます。コントローラーユニットはユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスを備えており、ユーザーは正確なニーズに合わせてユニットを構成できます。このマシンはまた、さまざまなデータ出力フォーマットをサポートし、ユーザーが簡単かつ迅速に分析し、収集されたデータを保存することができます。KLA6034の主な特徴はウォームアップツールです。このアセットにより、起動時のダウンタイムが短縮され、モデルが常に動作できるようになります。さらに、装置は多くの安全機能を念頭に置いて構築されています。これらには、過電流および低電圧保護、およびバックアップ電源が含まれます。システムの試験および計測ヘッドには、正確な測定を可能にするAdvanced Micro-Optical Unit （AMOS）が含まれています。これは、測定に高精度の干渉計を使用し、精度レベルの範囲を提供します。例えば、1ミクロンの精度で測定することができます。さらに、試験および計測ヘッドは、0。03ミクロンのレベルまで軸受の動きを検出することができます。ウェーハステージは、試験片を所定の位置に保持する調整可能なアームです。これは、固定レベルの向きを維持しながら、4インチのウェーハ表面を移動することができます。これにより、試験片のサイズに関係なく正確な測定が可能になります。全体として、TENCOR 6034は、高い精度とパフォーマンスを提供する自動ウェーハテストおよび計測ツールです。モジュラー設計、安全機能、ウォームアップアセットが揃っており、ウェーハのテストと測定に信頼性と効率性を提供します。このモデルは、羽毛光測定と精度を必要とするあらゆるアプリケーションに最適です。