中古 ADE / KLA / TENCOR 6033T #196422 を販売中

ADE/KLA/TENCOR 6033Tは、1063 nmの高度半導体デバイスのスペクトル領域赤外線光発光（PL）およびレーザー散乱場（SF）計測用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムには、60x拡大光学顕微鏡、調整可能な中心波長を持つ2つのレーザー源、および200-1700nmのスペクトル範囲をカバーする光学ユニットが装備されています。光学顕微鏡は、ウェーハを検査し、レーザーを整列させて焦点を合わせるために使用されます。この光学機器は静的および動的PL測定モードの両方を可能にし、ユーザーはウェーハの性能を詳細に測定することができます。また、ADE 6033Tはリアルタイムのパーティクルカウントを提供し、ウェーハ上のあらゆる汚染に関する洞察を提供します。KLA 6033Tは、直感的なテストとデータ分析のためのグラフィカルユーザーインターフェイス、ならびに自動解析、デバイスマッチング、エラー訂正のためのソフトウェアアルゴリズムを提供するソフトウェアスイートと統合されています。ソフトウェアはまた、単一のアクセスポイントから複数の6033Tシステムのリモート監視と管理をサポートしています。TENCOR 6033Tは、ウェーハメトロロジーをより簡単に、より正確にするために設計された幅広い機能を提供します。このツールは、高感度検出アルゴリズムを使用して、ウェーハ上のデバイス間の小さな違いを検出します。また、欠陥を特定し、異常なデバイスを検出し、サブミクロメータの精度でトランジスタやその他の内部ノードを測定することもできます。このアセットには、空冷765nmレーザーと超安定性532nmレーザーが組み合わされており、PL測定のスペクトル範囲で最大60mWの平均電力を供給できます。また、高度なレーザーは、細かいディテールをキャプチャしたり、広い波長範囲でウェーハレベルのテストを行うための高精度を提供します。全体として、ADE/KLA/TENCOR 6033Tは、半導体業界の厳しいニーズに対応するように設計された非常に信頼性が高く正確なウェハテストおよび計測モデルです。究極の精度、スピード、柔軟性を提供し、ユーザーはデバイスのパフォーマンスを迅速かつ正確に測定できます。