中古 ADE / KLA / TENCOR 6033 #9162771 を販売中

ADE/KLA/TENCOR 6033ウェーハ試験および計測装置は、MOSFET、バイポーラ、抵抗、コンデンサ、不揮発性メモリ（NVM）構造、およびシリコン上のデバイス寸法、重要なDCおよびAC電気パラメータなどの重要なデバイスパラメータを測定するために使用されます。このシステムは、デバイスが正しく製造されていることを確認するために、何百ものデータポイントを収集して分析することができます。単位は正確さ、速度および柔軟性のために設計されています。直径8インチまでの選別ウェーハの自動ウェーハハンドリングマシンを搭載しています。さらに、このツールは、単一のウェハ上で複数のダイのウェハレベル試験を実施するためのいくつかのユニークな機能を提供します。このアセットは、高解像度の光学モデルにより、高精度かつ高精度で厚さ400umまでのデバイスをテストすることができます。明るいフィールドと暗いフィールドのイメージング装置を使用し、わずか数百ナノ秒の露光時間で画像をキャプチャすることにより、優れた信号対ノイズ比を提供します。このシステムは3軸ステージムーブメントを備えており、ウェーハ全体で多数のテストデータポイントを迅速に測定することができます。ADE 6033ユニットは、高スループットミリメートルおよびサブミクロンレベルの測定を可能にする一連のツールを提供します。豊富な解像度設定が含まれており、迅速かつ柔軟に設定および使用できます。測定機能には、高速トポグラフィ測定、高速IP計測、パルス電気パラメータ測定、静電容量電圧（C-V）曲線測定、ゲート酸化物ブレークダウン測定などがあります。さらに、このマシンの統合ソフトウェアプラットフォームは、データ分析の時間と複雑さを軽減します。工具のツールセットを活用することで、プロセスの欠陥とウェハアセンブリ、デバイスの性能、しきい値の電圧、ダイの位置精度の中心、およびデータの精度をすばやく特定できます。KLA 6033 Wafer Testing and Metrology assetは、ウェーハテストの速度、精度、柔軟性を向上させる先進モデルです。これは、プロセスとデバイスの欠陥を迅速かつ正確に識別するための包括的なテストツールを提供します。