中古 ADE / KLA / TENCOR 603 #9397720 を販売中

ADE/KLA/TENCOR 603は、最も要求の厳しいプロセス制御アプリケーションの要求を満たすように設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、製造工程で異なるレベルのデバイスの高速かつ高精度な表面解析測定を提供します。このユニットは、5nm程度の小さな欠陥を検出することができ、高精度な計測と優れた歩留まり性能を保証します。ADE 603には、高速スキャンインキュベータ（FSI）と自動欠陥レビュー（ADR）ソフトウェアが搭載されており、従来のウェーハ検査システムよりも正確な測定と高い精度を提供します。FSIにより、デバイス表面の特徴を迅速に測定することができ、高速なデータ取得と分析が可能になります。ADRソフトウェアは、欠陥検出の正確な自動化を保証し、歩留まり性能と歩留まりの向上を実現します。KLA 603ツールは、自動測定アーカイブ（AMA）、多次元タッチプローブアセット、レーザー干渉測定ベースの検査ツールなど、さまざまなツールオプションでサポートされています。AMAはモデルのユニークな機能であり、寸法、フィーチャープロファイル、パターン認識レポートを自動的にアーカイブし、最高精度をサポートします。この拡張タッチプローブ装置は、デバイス表面上で最大4軸および10点の測定が可能で、個々の構造の正確な測定と完全なプロファイル測定を提供します。最後に、レーザー干渉計ベースの検査ツールにより、表面と不動態層の両方を非接触検査できます。603は、ハイエンドのプロセス制御アプリケーションに理想的な選択肢であり、正確な測定とデバイスのサイズと形状の包括的な分析を可能にします。高速、高精度の表面解析測定、使いやすいツールオプション、および高度なアーキテクチャの強力な組み合わせにより、最大の歩留まりとコスト効率を実現します。