中古 ADE / KLA / TENCOR 5810 #9170075 を販売中

ADE/KLA/TENCOR 5810ウェーハ試験および計測機器は、半導体製造業界のさまざまなアプリケーションのニーズに対応するために設計された汎用性と効率的なツールです。幅広いウェーハテスト機能を備えた高スループットレートを備えており、迅速かつ正確なウェーハテストプロセスを可能にします。このシステムは、ウェーハ表面から散乱光の角度分布を測定するために設計された革新的で高度なフルカセット高度散乱計測技術を備えています。この機能により、幅広い膜厚の解析が可能になり、フォトマスクと導波管パターンの両方を1つのウエハで正確かつ同時に測定することができます。さらに、複数の測定を同時に行うことができるため、この機能は複雑さとコストを削減します。このユニットは高度に自動化されたプラットフォーム上に構築されており、高解像度のTEMイメージング顕微鏡が内蔵されています。これにより、EBSD（電子後方散乱回折）から静電容量測定、エッチング処理まで、多種多様な画像解析が可能になります。例えば、TEMイメージング顕微鏡は、液滴のサイズ、線密度、パターンの向きを測定するために使用することができ、これは半導体チップの欠陥検査に非常に役立ちます。さらに、欠陥絶縁や3D表面特性評価などの高度なウエハテスト処理も可能です。このタイプの機能は、プロセス関連の欠陥を分離するだけでなく、ウェーハの全体的な性能を理解するために不可欠です。最後に、ADE 5810 Wafer Testing and Metrologyツールは、ユーザーフレンドリーで高いスループット率を実現するように設計されています。幅広い機能と機能を備えたこのアセットは、さまざまな目的のために迅速かつ正確にウェーハをテストすることに興味がある人にとって理想的な選択肢です。