中古 ADE / KLA / TENCOR 350 / 351 #9027395 を販売中

ADE/KLA/TENCOR 350/351は、ウェハテストおよび計測アプリケーション用に設計されたウェハテストおよび計測機器です。エッジ、ドーパントレベル、結晶構造、表面平坦度、厚さなど、ウェーハのさまざまな物理的特徴を測定するために使用されます。このシステムは、フリップチップパッケージ、MEMS、 SOI、 LEDチップ、GaAsなど、さまざまな種類のウェーハの分析に迅速かつ正確な結果を提供するように設計されています。ADE 350/351の主な特徴と機能には、走査型電子顕微鏡（SEM）、焦点イオンビーム（FIB）イメージング、熱ATR分光などがあります。マイクロコンポーネントや構造物の詳細な観察を可能にする高解像度イメージングシステムを搭載しています。SEMイメージングユニットは、10Xから200000Xまでの倍率を提供しますが、高解像度のFIB光学系は、さまざまな材料の微細な構造や特徴を可視化することができます。熱ATR分光法は、加熱されたサンプルからの排出量を集めることによってドーパントレベルを測定するために使用される高強度の技術です。また、KLA 350/351は、ウェーハの詳細な解析と測定のための洗練された自動ソフトウェアソリューションを提供しています。ウェーハ検査や計測のための様々な多次元解析アルゴリズムを搭載しています。これらのアルゴリズムは、特徴サイズ、3D表面形態、エッジ濃度、高さ分布などのパラメータの配列を測定することができます。さらに、ソフトウェアは、ウェーハ内の任意の可能な欠陥や異常を分析し、検出するために、複数のデータセットを比較する機能を提供します。この機械は、0。6ナノメートルの精度で多くの機能を測定することができます。1時間あたり5ウェーハのスループットレートで高効率です。また、ノイズのない環境でデータの正確性を確保するように設計されています。堅牢な構造と頑丈な構造により、追加の保護なしで本番環境に展開できます。さらに、信頼性の高いウェーハデータ収集のためのさまざまな整合性と信頼性機能を提供します。結論として、350/351はウェーハテストおよび計測アプリケーションに最適です。様々なウエハ材料に高精度な結果を提供するように設計されています。洗練されたソフトウェアと多次元解析アルゴリズムを備えているため、ウェーハの構造的および組成的異常を見つけるのに理想的な選択肢です。1時間あたり5枚のウェーハのスループットを保証し、堅牢でノイズのない環境でウェーハの完全性を保証します。