中古 ACCRETECH / TSK Surfcom 578A #9226928 を販売中

ACCRETECH / TSK Surfcom 578A
ID: 9226928
ウェーハサイズ: 8"
Wafer surface measurement system, 8".
ACCRETECH/TSK Surfcom 578Aは、複雑な自動測定、高精度な結果、幅広いサンプルサイズを提供する最先端のウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、半導体デバイス、生体膜、およびその他の薄膜用に設計されています。表面粗さ、平坦度、段高さ、プロファイル深度を正確に測定できます。また、さまざまな表面条件の自動表面トポグラフィ評価を提供します。このユニットには、差動干渉顕微鏡(DIM)やレーザービームプロファイラ(LBP)など、さまざまなセンサーが装備されています。DIMセンサーは、1ナノメートルまでの精度と分解能を提供し、非常に正確な測定を可能にします。LBPは、表面トポグラフィの正確で迅速かつ非破壊的な測定を提供し、比類のない解像度と精度を実現します。TSK Surfcom 578Aはサンプルハンドリングとデータキャプチャを自動化して構築されています。高速サンプルステージと、異なる測定領域をサポートする大きなサンプルウィンドウを備えています。また、各種基板サイズに対応できる自動ガラスホルダーを搭載し、幅広いサンプルサイズの測定が可能です。このマシンは、2D画像解析、3Dイメージポイントプロファイリング、2D深度硬度マッピング、3Dスキャンロードマップなど、さまざまなデータ取得タイプを提供します。さらに、パラメータマッピングやラインスキャンなどの各種統計解析ソフトウェアを搭載し、解析を向上させています。結果の精度を確保するため、ACCRETECH Surfcom 578Aには、洗浄、エッチング、スプレー洗浄によりサンプル表面の汚染を除去する自動表面処理機能が搭載されています。このツールは、さまざまなプロセスに必要に応じて測定温度を自動的に調整します。全体として、Surfcom 578Aは、迅速で正確で自動化されたウェーハテストと計測を提供するように設計された高度な資産です。サンプルの取り扱いを自動化した高精度・高解像度測定が可能で、幅広いサンプルサイズに対応できます。その自動表面処理モデルは結果の正確さを保証し、統計解析ソフトウェアは機器にさらなる価値をもたらします。
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