中古 ACCRETECH / TSK RVF600A #9410239 を販売中

ID: 9410239
Coordinate measurement system X, Y, Z: 600 x 500 x 300 mm Platform: 800 x 1045 mm.
ACCRETECH/TSK RVF600Aは、ハイスループットウェハの検査と評価のために設計されたウェーハ試験および計測機器です。電気特性の測定、不具合の解析、粗さや平坦度などの表面測定が可能です。このシステムには、0。15 μ mの小さな欠陥を検出できる高解像度イメージングユニットと、円パターン、線形パターン、対角パターンなどの幅広いパターンが含まれています。TSK RVF600Aは、プラズマエッチング、フォトレジストストリッピング、ディープトレンチ計測など、さまざまな試験および計測機能を提供します。テストレシピのライブラリと高度な画像処理アルゴリズムを内蔵しており、ウェーハの迅速な解析が可能です。直径200mmまでのウェーハ検査が可能で、シリコン、SOI、シリコンオンガラス(SOG)、サファイア、サファイアオンガラス(SOG)など複数のウェーハに対応しています。ACCRETECH RVF600Aの組み込み計測機能は、ユーザーがウェーハの表面を正確に測定および分析できるように設計されています。これらの特徴には、表面粗さ評価、平坦度評価、深度測定などがあります。また、フォーカス/デフォカス、アライメント/ローカライズ、オーバーレイ補正、欠陥評価など、さまざまなパターン検査タスクもサポートしています。さらに、RVF600Aには高度な画像ベースの検査と欠陥検出モードが含まれています。これらの機能により、ウェーハ表面の複数のビューを同時に取得、比較、分析することができ、包括的な欠陥検出と分析が可能になります。全体として、ACCRETECH/TSK RVF600Aは、高度なテストと計測機能を備えた強力なウェーハ検査および分析モデルです。スピード、精度、精度を重視して設計されており、ウェーハの検査と特性評価のための包括的なソリューションをユーザーに提供します。
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