中古 TRIKON Sigma 200 #9293542 を販売中
この商品は既に販売済みのようです。下記の同じようなプロダクトを点検するか、または私達に連絡すれば私達のベテランのチームはあなたのためのそれを見つけます。
タップしてズーム
販売された
ID: 9293542
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1990
Sputtering system, 6"
Triple rack for RF Power supply
Turbo controller
Dealer controller
Main computer (CTC)
Data logger computer
AC Tray
Rack controller
Platen heater controller
RGA Controller
Operating system: FlexOS Version 3.01S
VCE (A & B):
Process: Wafers loaded, pumped and mapped prior
Vent gas: Nitrogen
Hot Sputter Etch (HSE):
Etch
Preheat module
Power (Coil and platen): 600 Watt
ADVANCED ENERGY RFX600 Generator (13.56 MHz)
Cryo pump, 8"
Process gas: Argon
50 SCCM MFC
300 SCCM MFC
Vent gas: Nitrogen
Platen heating: 450 C
Gauge to control and monitor vacuum
Deposition chamber (TiN):
Deposit Ti and TiN
Platen RF bias power: 600 Watt
ADVANCED ENERGY RFX600 generator (13.56 MHz)
Cryo pump, 8"
Process gas: Argon
300 SCCM MFC
100 SCCM MFC
Vent gas: Nitrogen
Platen heating: 450°C
Gauge to control and monitor vacuum
Deposition chamber (Al):
Deposit Al
Cryo pump, 8"
Process gas: Argon
300 SCCM MFC
Vent gas: Nitrogen
Platen heating: 450°C
Gauge to control and monitor vacuum
Transport chamber (Dealer):
Turbo pump on board
Vent gas: Nitrogen
Metal wafer cassette
1990 vintage.
TRIKON Sigma 200は、鋼、真鍮、その他の金属などの様々な材料をエッチングするために設計されたエッチャー/アッシャーです。金属加工、プロトタイピング、および非常に精密なエッチングまたはアッシングを必要とするその他の特殊プロセスでの使用に適しています。このシステムは、単一の容器エッチングおよび冷却チャンバーと、便利な材料処理のための垂直アーム持ち上げシステムを備えています。エッチングチャンバーは厚さ6mmのステンレス製で、右側に50mmの高視聴窓と取り外し可能なカバープレートを内蔵しています。エッチングチャンバーには、アルゴン、水素、または他の不活性ガスが充填されています。温度はデジタルピロメーターによって監視され、調節可能で、室温から1,000°Cまで制御されます。腕の持ち上がるシステムは手動で作動させます、ユーザーが滑らかで、正確な方法で部屋内の材料を動かすことを可能にします。シグマ200は0。4kWのメインモーターで駆動されます。自動プロセスタイマーと、温度、エッチング時間、その他のパラメータを読み出すためのデジタル表示を備えています。最適な加工条件を維持するための自動温度制御と、安全性を高める過熱保護機能を搭載しています。エッチングチャンバーは安全スイッチで保護されており、温度と圧力の両方の自動シャットオフ保護など、いくつかの安全機能があります。プロセッサは最適な効率のために設計されています。ユニット側面のコントロールパネルを介して調整することができます強化された気流のための再生送風機が装備されています。これにより、エッチング結果が改善されます。また、ステンレスや真鍮などの材料に複雑なエッチングパターンやマイクロエッチングを作成するために使用することができる高度な熱伝導技術を持っています。全体として、TRIKON Sigma 200は、正確なエッチングまたはアッシング結果を必要とする幅広いアプリケーションでの使用に適した信頼性と強力なエッチャー、アッシャー、およびプロセッサです。直感的なデザイン、カスタマイズ可能な設定、高度な安全機能により、ユーザーは高品質の製品を効率的かつ簡単に作成できます。
まだレビューはありません