中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9080130 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark IIは、最も要求の厳しいエッチング用途向けの高性能エッチング炉です。この原子炉は、エッチング、イオン補助エッチング、物理蒸着（PVD）、リアクティブイオンエッチング（RIE）プロセスなど、幅広い機能を備えています。特許取得済みのVHFマグネトロン源と、最大5 x 1012cm-3のプラズマ密度を達成する能力を備えたこの原子炉は、最高の結果を保証するために必要な電力を備えています。AMAT P5000 Mark IIは、優れた基板温度制御を提供し、25℃〜75℃の温度範囲と最大±1℃の温度範囲に対する300℃の許容差を備えています。また、最適なソース配置のための非常に効率的なソースムーバと、すべての基板にわたって均一に優れたエッチングを備えています。マグネトロン設計により、イオンフラックス、イオンエネルギー、ソース電力の比率を最適化し、高エッチング率、低基板損傷、最適な均一性を確保します。APPLIED MATERIALS P 5000 MARK IIのモジュール設計により、柔軟性とアップグレード性が確保され、オプションのリモートウェーハフォア真空システムなどのアップグレードモジュールをシームレスにインストールできます。このシステムにより、複数のウェハを中断せずに処理することができ、高効率なエッチング処理が可能です。この設計により、プロセスパラメータを調整することで寄生エッチングを制御し、回避することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 MARK IIには、厳格なプロセス要件に合わせた高精度コントローラが装備されています。特許取得済みのアダプティブチャンバー技術により、コントローラはより高い精度、より良い均一性、より広いプロセスウィンドウを実現します。設定は直感的なタッチスクリーンインターフェイスで簡単に設定できます。さらに、コントローラをさまざまなワークセルシステムと相互接続することで、究極の制御と効率を実現します。最後に、この原子炉は安全性の向上のために設計されています。その耐久性と保護機能は、最高の安全要件を満たし、準拠した動作を保証します。外側には、P5000 Mark IIは、低レベルの安全カバー、統合された安全標識と信号、および非磁性ステンレス鋼のチャンバー保護層を備えています。要するに、APPLIED MATERIALS P5000 Mark IIは、究極のエッチング性能のための非常に高度なエッチング炉です。それは一貫した、最上質の結果を保障するために比類のない精密、信頼性および安全を提供します。