中古 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9055225 を販売中

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AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA
販売された
ID: 9055225
ウェーハサイズ: 8"
Sputtering system, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターは、半導体材料の生産に特化した高品質で高性能なチャンバーです。原子炉は、化学蒸着(CVD)から始まるプロセスの不可欠な部分として設計されています。高速トランジスタの製造において最高の歩留まりを保証する、高い蒸着速度、低い粒子数、小さなチャンバー容量のユニークな組み合わせを提供します。AMAT ENDURAリアクターは真空チャンバーと外部ガス供給装置で構成されています。チャンバーの設計により、チャンバー内の化学反応のためのガスの組み合わせを提供することができます。ガスの配達は、乱流を排除し、均一性を最大化し、粒子数を最小限に抑えるように設計されています。また、高圧・低圧条件でのプロセス性能と歩留まりを最適化できるように設計されています。応用材料ENDURAリアクターも温度均一性を最大化するように設計されています。デュアルウェーハジオメトリは、最高のスループットとスクラップレートを実現するために、最も均一な熱蒸着レートと最適な温度分布を実現するように設計されています。ENDURAリアクターには、チャンバーとウェーハの急速加熱を保証する強力な発熱体も装備されています。この結果、ウェーハ上の薄膜が急速に成長し、半導体デバイスの製造において高い蒸着率が得られました。強力な発熱体と直接空冷システムの組み合わせは、純粋で均一なフィルムの成長を確実にするために、チャンバーの急速な冷却を保証します。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURAリアクターには、最先端のモニタリングユニットも装備しています。この機械は、処理ガスのチャンバー温度、圧力、純度、粒子数、流量のリアルタイム監視と制御を提供します。これにより、最高のプロセス歩留まりと精度を実現します。モニタリングツールは、プロセス制御システムとインタフェースし、プロセスのパフォーマンスに関するフィードバックを提供することができます。AMAT ENDURAリアクターは、高品質で高性能な半導体材料の製造に最適なチャンバーです。最先端の技術と最先端の安全システムで設計されており、最適なプロセス性能と歩留まりを保証します。このチャンバーは、半導体製造の最高品質と効率を保証します。
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