中古 CAMECA IMS 4F #9210239 を販売中

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製造業者
CAMECA
モデル
IMS 4F
ID: 9210239
ヴィンテージ: 1988
SIMS System Includes: Oxygen duoplasmatron source Microbeam Cs+ source with a lens Primary beam mass filter NEG for charging neutralization Electronic units with some modifications: (3) Fore pumps (4) Turbo pumps (2) Cryo pumps (2) Ionic pumps 1988 vintage.
CAMECA IMS 4Fは、表面と薄い層の組成を100ナノメートルまで解析するために設計された二次イオン質量分析計(SIMS)です。2。5キロボルト(kV)フィールドフリーイオン源、4検出器質量分離器、および超高真空下でのサンプル分析を容易にするように設計されたサンプルチャンバーを備えています。2.5kVフィールドフリーイオン源は、光コリメーションシステムを使用してスキャンされたイメージングイオンを集中させ、焦点を当てたイオンビームのほぼ完全な分布を達成します。これにより、約1ナノメートルの精度で高解像度のイメージングが可能になります。イオン源は4つの焦点電極で構成されており、スキャン領域と解像度を変化させるために個別に調整することができます。4検出器質量分離器は、2つの磁石、2つの四極棒、1組の複合フィールドプレートで構成されています。この組み合わせにより、試料から抽出されたイオンの質量電荷比を正確に測定することができます。4つの検出器のそれぞれからの信号は独立して測定され、結合された信号はそれぞれの質量-電荷範囲の合計イオンカウントに変換されます。超高真空条件のために設計されたサンプルチャンバーは、さまざまなサンプルタイプやジオメトリに対応でき、表面と薄い層の組成を分析するのに適しています。イメージング解析のために、サンプルチャンバーは電動3次元サンプルステージに取り付けられます。これにより、サンプルの広範囲を迅速かつ正確にスキャンする機能を含む、幅広いサンプル処理と操作が可能になります。サンプルステージは、サンプルの回転、傾き、フォーカスを制御できる統合ソフトウェアパッケージによって制御されます。CAMECA IMS4Fは、深度プロファイリング、同位体解析、二次イオンイメージング、表面組成解析など、さまざまな分析を行うことができます。この強力な機能の組み合わせにより、ユーザーは、コスト効率が高く信頼性の高い方法で表面と薄い層の組成を正確に測定する柔軟性が得られます。
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