中古 CAMECA IMS 4F #293769036 を販売中
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ID: 293769036
Spectrometer
Load lock
Monochromator
CCD Detector
Electrical cool
Spherical chamber
Inner diameter: 175 mm
Vacuum pump
Transfer arm
Scroll pump: 10^-3 mbar
Turbo molecular pump: 10^-6 - 10^-7 mbar
Main chamber:
Inner diameter: 300 mm
E-Gun, 3 keV
(2) Manipulators
Cooling down to 12°C
Heating up to 900°C
Polar rotation
Azimuthal rotation
Measurement items:
Surface scanning spectroscopy
Photo luminescence
Angle resolved pl spectroscopy
Cathodo luminescence
Angle resolved cl spectroscopy
Electro luminescence
Spectroscopic ellipsometry
Elastic and inelastic scattering light
Plasmon spectroscopy.
CAMECA IMS 4Fは、高解像度の深度プロファイリングと幅広い元素同位体分析のために設計された、堅牢で汎用性の高い二次イオン質量分析計(SIMS)です。これは、高出力イオン源、サンプルスパッタ/エッチングチャンバー、マスアナライザおよび検出器で構成されています。CAMECA IMS4Fは、2つの異なる標準イオン源、高強度Cs+ソースとGa+またはAu+セカンダリイオン源を備えています。用途に応じて、適切なソースを選択して、望ましいイオン収率、質量分解能、スパッタレートを提供することができます。サンプルスパッタ/エッチングチャンバーには、ダイヤモンドまたはSiCスパッタプローブとアノードホルダーが装備されています。ロータリーサンプルスパッタユニットは、効果的なスパッタリングのための可変サンプル回転を可能にします。このチャンバーには低エネルギーの注入源が含まれており、非常に高い精度でサンプルの深度プロファイリングを可能にします。IMS-4Fのマスアナライザは、高いダイナミックレンジと解像度を提供する二重焦点式反射装置です。質量分解能の尺度である質量分解能(MRS)は2000まで設定できます。CAMECA IMS-4 Fの検出器は、ファラデーカップまたはマルチチャンネルプレート(MCP)検出器です。ファラデーカップは中質量イオンの検出に適していますが、MCP検出器は低質量イオンの検出に適しています。また、MCPは検出チェーンからバックグラウンドイオンを除去することにより、ダイナミックレンジと質量分解能を向上させます。CAMECA IMS-4Fは、最適なデータ取得と分析のためにすべてのコンポーネントを制御する高性能ソフトウェアを搭載しています。これにより、高速解析、スポットスキャン、イメージング、マルチデプスプロファイリングが容易に可能になります。結論として、IMS 4Fは非常に堅牢で汎用性の高い二次イオン質量分析計であり、表面サンプルとバルク試料の両方に高分解能で広範囲の元素同位体分析を提供します。その柔軟性とユーザーフレンドリーな機能を兼ね備えたこの機器は、さまざまなアプリケーションに最適です。
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