中古 VARIOUS Lot #9195867 を販売中
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ID: 9195867
Lot of mass flow controller:
Aera:
Gas / Size
SiH4 / 20 SCCM
BCL3 / 100 SCCM
TiCL4 / 50 SCCM
Vacuum general:
Gas / Size
CL2 / 10 SCCM
N2 / 1 SLM
O2 / 100 SCCM
Gas / Size
H2/N2 / 10 SLM
Air / 1 SLM, 200 SCCM
O2 / 5 SLM, 100 SCCM
H2 / 200 SCCM
CH4 / 25 SCCM
HCL / 500 SCCM
BCL3 / 100 SCCM
DCS / 200 SCCM
N2 / 150 SCCM
CO / 200 SCCM
CL2 / 10 SCCM.
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