中古 KAWASAKI 50607-1222 #9143637 を販売中

KAWASAKI 50607-1222 Wafer Handlerは、6インチのシリコンウエハを物理的接触を最小限に抑えて搬送・取り扱うために設計された精密ウェハハンドリングツールです。このツールは、手動ハンドリング方法を置き換えるように設計されており、スループットの高速化、歩留まりの向上、ウェーハの最大限の保護を保証します。ウェーハハンドラには、プロセスチャンバーからのローディングとアンロードのためにウェーハを傾けて向けることができるツールヘッドが装備されています。ツールヘッドには、ツールヘッドボディの周辺部にしっかりと取り付けられたサクションカップが配列されています。この設計により、プロセスチャンバの輸送およびロード/アンロード中のウェーハの安定性が保証されます。ウェーハハンドラ50607-1222、ロボットアームとコントロールコンソールで構成されています。ロボットアームは精密6軸モーションアセンブリで、ツールヘッドを所望の座標に移動させることができます。このモーションアセンブリは、スムーズで信頼性の高い動作を提供するように設計された統合エンコーダとコンポーネントを備えたブラシレスDCモータのセットによって駆動されます。ロボットアームを精密に制御することで、高精度かつ高速なウエハの取り扱い・移動が可能です。Control Consoleは、ロボットの操作を制御するために使用されるメインシステムです。このシステムは、産業用マイクロプロセッサを搭載し、Human Machine Interface （HMI）を使用してロボットの動きを簡単に操作できます。Control Consoleには、さまざまなウェーハやプロセスの一連のロボットモーションシナリオを保存してリコールする機能もあります。さらに、Control Consoleには、モーション位置、速度、負荷、ドライブパラメータなど、システム内の状況を監視するための診断センサーが多数装備されています。KAWASAKI 50607-1222 Wafer Handlerは、6インチシリコンウェーハを取り扱うための高度で信頼性の高いツールです。このツールは、ウェーハを正確に指先で制御することができ、輸送中やプロセスチャンバーからの積み下ろし時にも安全で安定していることを保証します。この軽量でコンパクトでユーザーフレンドリーなツールは、最も要求の厳しいアプリケーションでのシリコンウェーハの安全かつ正確な処理のために設計されています。堅牢な設計と便利なHMIにより、 50607-1222はプロセスを自動化し、スループットと歩留まりを向上させるための理想的なウェハハンドラです。