中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for DPS #293634864 を販売中

株式会社アマット。（APPLIED MATERIALS） DPSチャンバーは、主に半導体加工アプリケーションに使用されるウェットエッチャーおよびドライアッシュシステムです。DPSとは、この商工会議所の旧名称である精密サービス部の略です。これは水平フローエッチャーとアッシャーであり、通常、チャンバーの内部を垂直に循環する液体または固体化学物質で動作します。DPSチャンバーは、耐久性と性能のために溶接電解質グレードのアルミニウムライニングを備えたステンレス鋼で構成されています。チャンバーの約3分の1に取り外し可能な高温ガラスインサートが並んでいます。このチャンバーはまた、ガスインレットとアウトレットポートの周りにステンレス製の真空シールを備えています。このチャンバーは、1つのウェーハまたは複数のウェーハを同時に処理できるように設計されており、高い再現性と精度を備えています。ウェーハは、機械的な指のグリップによってチャンバー内に所定の位置に保持され、真空ポートによってチャンバーのベースプレートに固定されます。これにより、密度の高いガス雰囲気を維持し、効率的なウェットエッチングおよび化学交換作業を可能にします。DPSチャンバーで使用される化学物質は、用途によって異なりますが、一般的には、フッ化水素（HF）、硫酸（H2SO4）、水酸化カリウム（KOH）、クエン酸（クエン酸）、およびその他のさまざまな酸と塩基が含まれます。処理されているウェーハは、化学蒸気または気化された液体混合物、多くの場合、酸素または窒素にさらされ、所望の化学エッチングまたはアッシングプロセスを容易にするのに役立ちます。チャンバーには、チャンバー内の一定の圧力を維持し、粒子汚染のリスクを最小限に抑えるための大気制御機能も装備されています。チャンバーは真空システムに接続され、チャンバー内の制御された均一な圧力を提供し、チャンバー内の低圧を維持します。チャンバーの外側には、チャンバー内のプロセスを管理するために使用される多数の制御およびゲージがあります。これにより、オペレータはチャンバー圧力、使用されている化学物質、および温度を監視することができます。さらに、チャンバーにはさまざまなセンサーとアラームを装備することができ、オペレータはプロセスの進行を追跡および監視することができます。DPSチャンバは、半導体ウェーハのエッチングとアッシングに優れたツールです。これは、電子機器の製造のための信頼性と制御環境を提供します。深反応性イオンエッチング（DRIE）、ウェットエッチング、化学蒸着（CVD）、化学機械研磨（CMP）など、さまざまなプロセスに使用できます。この信頼性、再現性、正確なプロセスにより、DPSチャンバは高性能、高精度の部品の製造に最適です。