中古 ROTH & RAU / OTB SOLAR MicroCluster400DRM #293608661 を販売中

ID: 293608661
ウェーハサイズ: 4"
ヴィンテージ: 2012
PVD System, 4" Process: SiO2 (2) Magnetrons (2) DRM Chambers 2012 vintage.
ROTH&RAU/OTB SOLAR MicroCluster400DRMはOTB SOLAR製品ファミリーの高効率太陽生産装置です。これは、信頼性と高品質の太陽電池生産のための最高の信頼性と稼働時間を提供します。OTB SOLAR MicroCluster400DRMは、高可用性と稼働時間を備えた半導体製造に最適なハイエンドでスケーラブルなオートメーション機器です。自動化されたウエハハンドラと包括的なマテリアルハンドリングシステムを備えており、最新の効率的な製造プロセスのすべてのニーズを満たすように設計されています。統合されたプロセス制御ユニットは、高精度な校正と幅広いパラメータを備えています。このマシンは、最適で再現性のある処理性能を保証し、高い品質管理を可能にします。このツールは4つのレベルのインタラクションを備えており、それぞれにさまざまな自動、手動、およびキャリブレーションされたパラメータがあります。これらのレベルは、ユーザーに独自の要求を満たすためにカスタマイズされたレシピとプロセス手順を作成する機能を提供します。ROTH&RAU MicroCluster400DRMはエネルギー効率が高く、単相または三相の電力を供給します。これにより、従来のシステムに比べてエネルギーコストを大幅に削減できます。また、プロセスからの余分なエネルギーを利用して一貫した作業環境を維持する熱回復技術も備えています。レーザースキャンと検出、温度監視と制御、緊急電源スイッチなどの高度な安全機能を備えています。これにより、パフォーマンスとプロセスの完全性を保証します。MicroCluster400DRMは、1時間あたり約400ウェーハの処理が可能です。これは、効率性の向上と運用コストの削減により、大量生産に有利です。全体として、ROTH&RAU/OTB SOLAR MicroCluster400DRMは、太陽電池の生産をより信頼性が高く、費用対効果が高く、効率的にするための幅広い機能を備えています。自動化されたウェーハハンドリングと包括的な材料ハンドリング資産、高精度なプロセス制御モデル、高度な安全機能を1つのパッケージに組み合わせています。高可用性と稼働時間、低エネルギー消費と高度な安全機能、および高性能機能により、太陽電池の生産に最適です。
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