中古 ROTH & RAU DEPx1500 #185721 を販売中

ROTH&RAU DEPx1500は、高性能と最大スループットのために設計された汎用性の高い太陽光発電設備です。この生産機械は、高効率背面太陽電池の生産をはじめ、多種多様な用途での連続運転を想定して設計されています。この太陽光発電設備には、シリコンウェーハの高品質加工を可能にする柔軟な加工モジュールプラットフォームが装備されています。高度なプロセスオートメーション機能により、複数のセルを同時に自動処理でき、特定の自動ルーチンを設定して生産時間を最小限に抑え、スループットを最大化できます。DEPx1500は加工にエッチングと蒸着技術を使用しています。エッチング技術は、ウェーハの上層からシリコンを除去し、基層にシリコンを堆積させます。エッチング工程では、デバイスは最小限の再配置、深い均一な溝、高エッチング率で均一なラインパターンを生成します。窒化ケイ素、二酸化ケイ素、アモルファスシリコンなどの膜を均一に堆積させる成膜機能も備えています。ROTH&RAU DEPx1500は、高速かつ低欠陥の生産のために設計されています。それはより速い周期のための大きい仕事台およびエネルギー有効なポンピングシステムが装備されています。真空システムは温度の均等性および均一な圧力を提供するように設計されています。また、特定のプロセス条件のウェーハの表面形状を測定できる自動ウェーハマッピングマシンを備えています。DEPx1500には、廃棄物を削減するための統合品質管理および欠陥検査システムも含まれています。そのレーザーベースの欠陥検査システムは、欠落している表面の特徴や粒子の汚染を検出することができます。ソフトウェア制御のパラメータは、正確な制御と正確なプロセス再現性を提供します。さらに、ROTH&RAU DEPx1500は高度な安全機能を備えて設計されています。これは、ウェーハの損傷を防ぎ、潜在的な電気的および熱的危険に対して保護する安全に結合されたベースプレートを備えています。ハイエンドの温度管理システムはさらに温度損失を防ぎ、基板およびプロセス温度が指定されたプロセスパラメータに従って維持されることを保証します。これにより、DEPx1500は安全で信頼性の高い太陽光発電設備になります。