中古 MKS Vac-Check #179824 を販売中

MKS Vac-CheckはMKS Instrumentsによって開発された残留ガス分析器で、真空チャンバー内のガス混合物の高速で信頼性が高く、敏感な分析を提供するように設計されています。アナライザは、QMS （Quadrupole Mass Spectrometer）技術を導入して、残留ガスの圧力、組成、質量を測定および分析します。分析装置は、質量分析計の検出器、ポンピングシステム、ソースチャンバー、サンプルチャンバーの4つの主要コンポーネントで構成されています。この検出器は、四極棒セットを使用して、チャンバー内のガス粒子の質量対充電比を測定します。このデータは、分析器のポンプによって処理され、ロッドセットに対するガスを加速します。ポンプは、サンプルチャンバとソースチャンバ間の圧力差動を増加させ、より正確な測定を可能にします。ソースチャンバーは、コンポーネントのほとんどが統合されているユニットの一次アセンブリです。このチャンバーには、レンズアレイ、Eビーム源、イオン化された粒子を集めるためのファラデーカップなど、多くのコンポーネントを備えたベースプレートがあります。イオン化された粒子は、最初にEビーム源によって加速され、次にファラデーカップによって収集される。レンズアレイは、イオン化された粒子のエネルギーを制御および集中させ、正確な読み取りを保証する責任があります。最後に、試料チャンバは、分析する必要があるガス混合物を含むために使用されます。このチャンバーはまた、ガスを効率的に監視するために必要な断熱材を提供します。サンプルチャンバーは、検出器へのガス混合物の容易な配達のための転送ラインを介してソースチャンバーに接続されています。Vac-Checkは、真空チャンバー内の残留ガスの信頼性、高速性、正確な監視に理想的なツールです。パワフルな部品により、ガスサンプルの組成、圧力、質量を精密に測定、分析することができます。