中古 MKS PAS #293767098 を販売中
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MKS PAS (Piston Area Separation)は、圧力、温度、流量、分子組成などの試料ガスの組成に関する包括的な情報を提供するために設計された残留ガス分析装置(RGA)です。これは、試料ガスの分子を異なるチャネルに分離することによって機能し、各構成元素分子を個別に分析することができます。この装置は、まず真空チャンバーを作成し、分析するサンプルのわずかに上の圧力で、乾燥窒素などの基準ガスで満たされます。試料に電子またはイオンのパルスが導入され、これらのパルスの散乱が検出され、分析されます。各気体分子は電子/イオンビームを異なる方法で散乱させ、PASシステムは各分子タイプを特定のチャネルにマッピングすることができます。このユニットは、水素、ヘリウム、窒素、酸素、二酸化炭素、キセノンの6種類のガス分子の存在を検出し、測定することができます。試料のイオン化に伴い、ドリフト速度を特定の分子の分子質量と相関させることで、その結果ドリフト速度を用いて特定の試料の分子タイプを識別することができます。MKS PAS機械はいろいろなガスのサンプルを分析し、微量のガス分析、腐食保護の効率の分析およびプロセス漏出地帯の評価に適用することができます。高感度・高解像度のため、高純度・低濃度のモニタリングが必要な半導体業界での使用に最適です。このツールは非常にユーザーフレンドリーで、データストレージ資産が含まれており、正と負の両方のイオン化ソースで利用できます。また、水蒸気検出モデルやデジタルレコーダーのオプションも用意されています。全体的に、PASは非常に低コストで様々なサンプルの組成に関する優れた情報を提供する効果的で簡単に動作するRGA装置です。これは、研究、産業、および環境アプリケーションに最適であり、サンプルの包括的な分析を求める人々のための強力なツールとして役立つことができます。
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