中古 WONIK IPS Maha SP #9351370 を販売中

WONIK IPS Maha SP
製造業者
WONIK IPS
モデル
Maha SP
ID: 9351370
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2009
CVD System, 12" 2009 vintage.
WONIK IPS Maha SPは、低放射・高効率プラズマ処理用に設計されたモジュール式安定型プラズマ炉(SPR)です。これは、磁気閉じ込めと高度なマイクロ波配送システムのユニークな組み合わせを利用して最適な結果を達成します。モジュラーアーキテクチャにより、幅広い設計と構成が可能で、SPはカスタムアプリケーションに最適です。Maha SPの磁気閉じ込めシステムは、線形磁場と回転磁場を組み合わせて、プラズマ環境を制約し最適化します。これにより、高い電力密度と効率的な動作を可能にします。さらに、処理に成功するために重要な温度、粒子密度、均一性を提供します。WONIK IPS Maha SPは、マイクロ波エネルギー供給システムも備えており、目的のプロセスに正確なツールを提供するために調整可能です。Maha SPの内部コンポーネントは、効率的な操作のために設計されています。これは、熱効率の高いポートと絶縁された壁スペーサだけでなく、ガスや蒸気の脱出を最小限に抑えるための低漏れ、低放出コーティングを備えています。さらに、空冷ポートコネクタを備えており、素早く簡単に部品を交換できます。WONIK IPS Maha SPのユニークなアーキテクチャにより、幅広い動作条件に設定できます。磁気閉じ込めに加えて、高度なガス流量と真空システムを介して高エネルギーのプラズマを生成する、または両方の組み合わせのために使用することができます。これにより、材料試験や表面硬化の用途に適しています。Maha SPはメンテナンスとアップグレードも簡単です。すべての部品はクリーニングおよび整備のために非常にアクセス可能であり、モジュール設計は必要に応じて新しい部品との容易な拡張を可能にします。これにより、研究および生産におけるカスタムアプリケーションに非常に役立ちます。全体として、WONIK IPS Maha SPは強力で汎用性の高い安定したプラズマ原子炉です。高度な磁気閉じ込めシステムとマイクロ波配送システムと、メンテナンスが容易でアップグレード可能なモジュラーアーキテクチャを組み合わせて、高効率で低放射のプラズマ処理を実現しています。これにより、材料試験や表面硬化などのカスタムアプリケーションに最適です。
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