中古 WATKINS JOHNSON WJ-TEOS999 #293831153 を販売中
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ID: 293831153
CVD System, 6"
Type: APCVD (USG / PSG / BPSG)
Ozone generation: SORBIOS Semozone 250.3
(3) Injectors: IVA's with Monoblock
(3) Canisters: TEOS, TMB, TMP
CSR 958
(9) Bubblers
Belt cleaning: HF Bubbler
Temperature: 500°C
Cooling system: Water
Throttle valve: MKS with controller
Toroidal orifices: 6 x 3" with spring
Belt: Inconel
Gas configuration:
- / Injector#1 / Injector#2 / Injector#3
O2/O3 / MFC O2 15 SLM / MFC O2 15 SLM / MFC O2 15 SLM
D1N2 / MFC N2 6 SLM / MFC N2 6 SLM / MFC N2 6 SLM
SPN2 / MFC N2 20 SLM / MFC N2 20 SLM / MFC N2 20 SLM
D2N2 / MFC N2 3 SLM / MFC N2 3 SLM / MFC N2 3 SLM
SIH4 / MFC N2 150 SCCM / MFC N2 150 SCCM / MFC N2 150 SCCM
PH3 / MFC N2 400 SCCM / MFC N2 400 SCCM / MFC N2 400 SCCM
B2H6 / MFC N2 300 SCCM / MFC N2 300 SCCM / MFC N2 300 SCCM
DILL N2 / MFC N2 3 SLM / MFC N2 3 SLM / MFC N2 3 SLM
TEOS / MFC N2 3 SLM / MFC N2 3 SLM / MFC N2 1.5 SLM
TMP / MFC N2 500 SCCM / MFC N2 500 SCCM / MFC N2 150 SCCM
TMB / MFC N2 100 SCCM / MFC N2 100 SCCM / MFC N2 50 SCCM
Power supply: 208 VAC, 3 Phase.
WATKINS JOHNSON WJ-TEOS999は、商業用途向けに設計された高温不活性ガス冷却原子炉の一種です。ステンレス鋼と炭素鋼で作られた圧力容器を備えた固体燃料炉で、トリウム燃料を使用するように設計されています。トリウムは原子炉の燃料として使用することができるわずかに放射性元素です。これは、従来のウラン燃料よりも豊富で低コストであり、長期的な放射性副産物が少ないという利点があります。トリウムはウランよりもエネルギー含有量が高く、従来の燃料よりも単位質量あたりのエネルギー量が多い。WATKINS JOHNSON WJ TEOS 999リアクターは、高温グラファイト加速熱中性子リアクターです。このタイプの原子炉では、グラファイトモデレータが燃料を取り囲み、燃料から放出される熱中性子の数を増加させます。これにより、原子炉のエネルギーを生成する核分裂反応の可能性が高まります。原子炉は900°C以上で動作し、ヘリウムガスによって冷却されます。原子炉は安全運転を確保するためにいくつかの安全機能を組み込んでいます。これらには、二重封じ込め容器、中性子吸収体、および水ダンプロッドが含まれます。二重封じ込め容器は、放射能を環境に放出することを不可能にします。中性子吸収材とウォーターダンプロッドは、問題が発生した場合に核分裂反応と緊急停止の制御を可能にします。WJ-TEOS 999は、複数の発電所で使用されている信頼性と費用対効果の高い原子炉です。原子炉は国際原子力機関（IAEA）によって安全性の認定を受けています。今後も原子力産業の重要な一部となることが期待されます。
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