中古 WATKINS JOHNSON WJ 999 #9216365 を販売中
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販売された
ID: 9216365
ウェーハサイズ: 4"-6"
CVD System, 4"-6"
System version: WJ999 RMCS (Classic)
Main body: OLD 999
Handler: 9.3
Gas: Hydride
Base type: Silicone
Cassette:
Load: (3) Cassettes
Unload: (3) Cassettes
Process: NSG
Target thickness: > 8000Å
Transport method (WJ-999):
4" Single
5" Single
6" Single
8" Single
4" Double
5" Double
6" Double
Transport method (WJ-1000): 12"
P/P INJ
INJ Size: 12"
INJ Type: Parallel
UPS
MFC Type: Tylan
MFC Flow (999R): D1N2, SPN2, D2N2, SiH4, O2, B2H6, PH3.
WATKINS JOHNSON WJ 999は、WATKINS JOHNSONが設計・製造した原子炉です。これは、材料試験や放射性同位体の生産など、さまざまな科学的および工学的用途に使用される研究炉の一種です。この原子炉は、スチール製の遮蔽カプセルに覆われた2つの垂直圧力容器からなる、異質で軽い水冷および緩和された発電所です。一次および二次容器は水で満ちている下の等級の具体的なプールで水没させ、付加的な保護および冷却を提供するのに役立ちます。コアは、燃料元素と呼ばれる円筒形のチューブのアセンブリの数に含まれている金属形態で濃縮ウランによって燃料化されます。リアクターの動作を制御・調節できるように、燃料元素とグラファイトモデレータの間に炭化ホウ素やカドミウムの制御棒を挿入します。冷却水を循環させるための一次循環装置など、原子炉の効率的かつ安全な運用を確保するために多くのコンポーネントが設計されています。このシステムは、ポンプ、熱交換器、バルブ、ゲージ、およびその他のコンポーネントの数で構成されています。原子炉心は、最適な温度と冷却剤の条件で動作するように設計されています。また、急激な温度上昇に備えて、原子炉には非常冷却装置が設置されています。原子炉は、試験要件に応じて、定常状態または交互モードで動作するように設計されています。望ましい作動条件を達成するために、原子炉制御機械は安全棒、反応性のフィードバック棒および主要な制御棒ドライブの組合せから成り、それらはすべて制御部屋のセンサー用具そしてコントロールパネルに接続されます。最後に、原子炉は制御室の職員によって監視され、維持されます。動作中、温度、流量、中性子強度などのパラメータを継続的に測定し、効率的かつ安全な動作を確保するために監視します。コントロールルームの人員も、緊急事態に備えて対策を講じるように訓練されています。
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