中古 VLSI STANDARDS INC PDS-100 #9199485 を販売中

製造業者
VLSI STANDARDS INC
モデル
PDS-100
ID: 9199485
Particle deposition system.
株式会社VLSIスタンダード。VLSI STANDARDS INC PDS-100は、半導体業界で使用される小型軽量原子炉です。それは超純粋な半導体の等級の化学薬品の生産のために設計されている連続的な流れ、連続的な攪拌タンク炉(CSTR)です。PDS-100に-40°Cからの340°Cへの実用温度較差があります;それをいろいろな化学プロセスのために適したようにします。それは精密な動き制御および同時操作のための3軸線6軸モーションコントローラーと設計されています。また、10リットルの反応容器と4リットルアノードタンクが装備されています。最大反応圧力は700kPaで、最低でも10kPaです。VLSI STANDARDS INC PDS-100は、正確な温度制御と正確な加熱のために直接浸漬加熱装置を使用しています。このシステムは、PIDコントローラによって制御され、電源バルブを介して調整されます。可変周波数駆動(VFD)は、正の反応圧力に必要なトルクを提供するために使用されます。PDS-100は、反応器全体に均一な温度プロファイルを生成し、敏感なプロセスに適しています。VLSI STANDARDS INC PDS-100は、統合パージングユニットを備えています。この機械は酸素を含まない環境を作り出すのに使用されています酸化および他の不必要な反作用を防ぐのを助け、原子炉を超敏感なプロセスのために適したようにします。パージングツールは、PIDコントローラによって制御され、酸素バルブを介して調整されます。この資産は、10分以内にすべての気体不純物の反応容器をパージするために使用することができます。PDS-100はまた、構造の堅牢な材料を備えており、腐食性および危険なアプリケーションに適しています。原子炉部品は耐腐食性鋼とセラミック材料で構成されています。これらの材料は、極端な温度や圧力に対する優れた耐性を提供します。VLSI STANDARDS INC PDS-100は、半導体業界で使用するために設計されており、すべての半導体製造の安全要件を満たしています。原子炉には、運転安全を確保するために2つの緊急停止スイッチが装備されています。全モデルは遠隔操作されるように設計されています、操作の間に実験室の人員が存在する必要性を排除します。さらに、原子炉はISO 9000準拠の品質保証基準に従ってテストされています。総合的には、VLSI STANDARDS INC。PDS-100炉は、超純度の半導体グレードの化学物質を製造するための高度で汎用性の高い信頼性の高いソリューションです。精密な温度および圧力制御、敏感なプロセスのための酸素なしのパージ装置、および危険な適用のための堅牢な建築材料を提供します。
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