中古 VEECO Propel #293822786 を販売中
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ID: 293822786
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2020
Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) system, 12", GaN
Equipment Front End Module (EFEM)
2020 vintage.
VEECO Propelは、VEECO Instruments Inc。によって開発された最先端の化学蒸着(CVD)原子炉装置で、先進的な薄膜プロセス装置のリーディングプロバイダーです。プロペルリアクターは、高品質の窒化ガリウム(GaN)や、パワーデバイス、高輝度LED、 RFデバイスの製造に使用されるその他の先進的な半導体材料の製造用に特別に設計されています。VEECO Propelリアクターの中核には、半導体材料の成長プロセスを正確に制御する高度な熱処理技術があります。この原子炉は高温高圧環境を備えており、優れた均一性と純度で薄膜の堆積を容易にします。この制御レベルは、高度な半導体デバイスに必要な材料特性と性能特性を達成するために不可欠です。プロペル炉の重要な革新の1つは、独自のガス供給と排気システムであり、反応室へのプロセスガスの正確かつ効率的な供給を保証します。このユニットは、ガス流量、温度、圧力などの成長パラメータを最適化し、一貫した再現性のある結果を得ることができます。また、蒸着プロセスの制御と安定性をさらに高めるために、リアルタイムガス分析や温度プロファイリングなどの高度なプロセス監視および制御機能を備えています。VEECOプロペルリアクターは、高い蒸着面積と汎用性のある基板処理能力を備えた高スループット生産用に設計されています。幅広い基板サイズや形状に対応できるため、小規模研究試料や大規模生産ウエハに薄膜を堆積させることができます。また、リアクターはモジュラー設計を採用しているため、特定のプロセス要件や生産量を容易にカスタマイズおよび拡張することができます。高度な技術力に加えて、Propelリアクターも操作効率と使いやすさを高めるユーザーフレンドリーな機能を備えて設計されています。このツールには、直感的なプロセス制御と監視のためのユーザーフレンドリーなインターフェース、およびダウンタイムを最小限に抑え、生産性を最大化するための自動メンテナンスとクリーニングルーチンが装備されています。この原子炉には、生産環境での信頼性と安全性を確保するための安全機能と内蔵の診断機能も含まれています。全体として、VEECOプロペル炉は、生産環境における高品質の半導体材料の堆積のための最先端のソリューションです。その高度な熱処理技術、精密なガス供給資産、およびユーザーフレンドリーな設計は、優れた性能と信頼性を備えた高度な半導体デバイスの開発と製造を目指すメーカーや研究者にとって理想的な選択肢です。Propelリアクターの機能を活用することで、幅広い業界でイノベーションを推進する次世代半導体技術の開発・事業化を加速することができます。
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