中古 VEECO K475 #9364542 を販売中

VEECO/DEKTAK K 475原子炉は、先端材料研究のための精密で高性能な原子炉です。これは、シリコン、ヒ素ガリウム、GaN、および他の多くの材料からの薄膜の電気特性の迅速な特性評価のために設計されています。この原子炉は信じられないほど強力で使いやすい機能を備えており、信頼性が高く再現性の高い結果を得ることができます。VEECO K 475リアクターは直流（DC）スパッタリング炉であり、金属、酸化物、窒化物などの薄膜や他の誘電材料の原子蒸着に適しています。シーケンシャル成膜とエッチング用の独自のDCデュアルマグネトロンソースにより、その性能が向上しています。また、感度が高く高速な電気測定サブシステムを備えており、非常に正確なシートおよび接触抵抗測定を可能にします。また、標準ウェーハから部分実装基板まで、さまざまな基板ホルダーから選択することができます。リアクターは、最適な精度と再現性を実現する高度で自動化されたモーションコントロールを備えています。ウエハを3 μ m以内に正確に配置し、ウエハ表面の微粒子制御を5Ω/sqに適合させることができます。また、高性能な蒸着制御システムを搭載し、蒸着速度、均質性、プロセス精度を自動制御することで、完璧な性能を確保しています。リアクターのスパッタデューティサイクルは、最適な蒸着速度と、蒸着速度とエッチング速度の最適なバランスのために調整することができます。DEKTAK K475炉の主な目的は、高度な材料研究のための高純度の薄膜を作成することです。それは、ますます効率的で信頼性の高い先端材料の開発への道を開き、研究者と業界関係者の両方に、その材料を評価するための強力なツールを提供します。この原子炉は、オプトエレクトロニクス、電気通信、データストレージの用途向けに、新しい高精度の多層フィルムの研究と製造に理想的なプラットフォームを提供します。