中古 VEECO / EMCORE TurboDisc MaxBright #293667120 を販売中

VEECO/EMCORE TurboDisc MaxBrightリアクターは、短時間で広範囲にわたって薄膜やナノ構造を効率的に堆積させるために設計された強力な半導体加工ツールです。これは、スループットとパフォーマンスを最大化するために高度なトリディスクチャンバー設計を使用した、市販の最初の高速、広い、薄膜蒸着システムです。TurboDiscは、電子ビーム（EB）蒸着技術を使用して、ウェーハまたは基板に材料を堆積させ、両面3Dコンフォーマルカバレッジを備えています。EBガンは高RF周波数で動作し、基板上の望ましいターゲットに到達するために、さまざまな軌道を持つ複数の電子ビームを回転させます。その結果、従来の単一ソース蒸着法に比べて蒸着速度が速くなり、基板の欠陥や損傷が大幅に少なくなります。部屋にきれいで、モジュール設計があります従って機械は維持し、再構成し易いです。13インチの基板ステージを持ち、130以上のウエハのあらゆるパターンに適合し、1回のサイクルで処理することができます。また、基板からシャワーヘッドまでの距離は12。7インチ、プロセスチャンバ高さは15。75インチで、幅広いスループットの大量生産と最大のプロセス柔軟性を実現しています。TurboDiscは、高解像度モニタと、デュアルバンドや多層蒸着などの複数のプロセス制御オプションを備えたユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えています。また、複数のジョブとレシピを追跡するための高速アルゴリズム制御とレシピ管理も備えています。ソフトウェアはまた、システムのリモート管理とプロセスパラメータの監視を可能にします。TurboDiscは最新のハードウェア技術を利用しており、薄膜およびナノ構造物の大量生産のための業界で最も先進的な原子炉です。スループットを向上させ、材料損失を最小限に抑えるように設計されており、ウェーハあたりの最高歩留まりと、多数の広域蒸着用途における最高の投資収益率を保証します。