中古 VEECO / EMCORE TurboDisc K475i As/P #9246072 を販売中

VEECO TurboDisc K475i As/Pは、高出力、直流（DC）駆動の陰極アークプラズマリアクターであり、幅広い材料の高速蒸着またはエッチング用に設計されています。この原子炉は、ガス注入システムを使用して、材料が環境物質と反応する非常にエネルギッシュなプラズマを作成します。この原子炉はダイレクトネガティブ入力（DNI）電源を備えており、安定した精密な蒸着とエッチングが可能です。TurboDisc K475i As/Pは、チャンバー、電子ビームガン、電子コレクタ（電極として）およびアノードで構成されています。電子ビームガンと組み合わされたEMCORE DC電源は、ワーク（基板）の表面に当たる小さな強烈な電子ストリームを生成します。このエネルギーはアークに移され、ガス注入システムからチャンバーに注入されます。ガスは主にイオン化されることによって特徴付けられます。イオン化されたガスは沈着率を加速し、プロセス温度を減らすプラズマを形作ります。TurboDisc K475iは、従来のプラズマ技術よりも高い速度で一貫した成膜またはエッチングが可能です。その高出力密度パラメータは、複雑な多層蒸着をサポートし、熱やひずみの影響を最小限に抑えた高密度エッチングに成功しています。この電源には、Advanced Power Management Logic （APML）などの独自の機能も含まれており、各サイクルに必要な正確な電力を制御します。これにより、基板要件だけでなく、幅広いプリカーソル源との完全な互換性も可能になります。VEECO/EMCORE TurboDisc K475i As/Pは、半導体・MEMS製造、太陽電池蒸着、ディスプレイなど、幅広い精密コーティングおよび表面仕上げ用途に適しています。原子炉は、その柔軟性と使いやすさのために、研究開発や生産規模のタスクに最適です。さらに、幅広い動作パラメータ、高精度な電力レベルへの適応性、高度なインテリジェンス、制御、およびトラブルフリー操作のための安全機能を備えています。したがって、この原子炉は最高の品質と一貫性を提供し、より高いスループットを可能にすると同時に、ウェーハあたりの優れたコストを提供します。