中古 VEECO / EMCORE TurboDisc K475i As/P #9231840 を販売中

VEECO TurboDisc K475i As/Pリアクターは、半導体および光電子アプリケーションにおいて高品質で汎用性の高い蒸着性能を提供する中型パワーデバイスです。4ゾーンの水晶ボートリアクターで、高精度な高濃度の蒸着が可能です。この原子炉は、Si、 SiC、 Ge、 GaAs、 AlN、 GaNなどの材料の堆積に最適化されています。この原子炉には、高度なアクティブソース電源が装備されており、使用者は1ゾーンあたり10〜450ワットの電源を変化させることができ、様々な基板に材料を高速に堆積させることができます。また、K475i As/Pは、100kHzの周波数までパルスを供給できるパルス電源を使用して、高繰り返し速度の蒸着を実現しています。さらに、このユニットは、急速な熱アニーリングを実行することもできます。また、2つの独立したガス制御システムを備えており、プロセスガスの正確な流量制御が可能です。これにより、ユーザーは独自にプロセスチャンバー圧力、および堆積ガスの量を制御することができます。また、K475iはまた、基板温度を維持し、蒸着プロセスの完全性を維持するのに役立ちます不可欠なアクティブ冷却配置を持っています。一体型の温度制御は、最先端の高速アプリケーションで温度を低減するのにも役立ちます。さらに、リトラクタブルシャッターシステムは、蒸着速度と角度を動的に制御します。加速器の磁場は十分に調節可能で、特定の適用のための最適化されたシステム性能を保障するためにプログラムすることができます。さらに、K475iには、RF電力、共振器の電圧、周波数、温度を測定する機能を含む包括的な統合診断システムがあります。これらの機能を組み合わせることで、K475iは強力で信頼性の高い材料沈着装置となります。