中古 VEECO / EMCORE TurboDisc K475 As/P #9358482 を販売中

VEECO TurboDisc K475 As/Pプラズマ炉は、半導体の研究と生産のための高度なツールです。これは、非線形の視界条件で超高品質のプラズマプロセスを作成するように設計されています。この原子炉は、コンパクトな設計、柔軟な構成、および高品質の生産プロセスを提供します。この原子炉には、プラズマの制御を強化するために非対称バイアス磁場を持つTurboDiscプラズマ源が装備されています。この高度なソースにより、ユーザーは超滑らかな表面だけでなく、強化されたプラズマ制御を生成することができます。また、生産レベルのプロセス条件に対応する超高速チューニング機能も備えています。K475 As/Pの高度なプロセスチャンバーは、安定した処理環境を提供するように設計されています。RF、マグネトロン、平面、格子を含む多様な電極を備えています。さらに、チャンバーには、さまざまな加工条件でさまざまな基板の処理を可能にするマルチリージョン構成も含まれています。K475 As/Pは、高度な制御システムも備えており、正確なセットアップと計装を提供します。組み込みのプログラマブルコントローラを使用すると、ユーザーは複数の条件とレシピを作成、保存、および取得できます。このシステムにより、プロセスパラメータを簡単に設定でき、プロセス結果を最適化することができます。EMCORE TurboDisc K475/Pプラズマ炉は生産レベルのスループットと歩留まりが可能です。また、SEMI S2やISO 9001など、多くの安全衛生基準に準拠しています。先進的な設計、高品質のプラズマ処理条件、堅牢な制御システムを備えたこのプラズマ炉は、半導体の研究と生産に最適です。