中古 VEECO / EMCORE TurboDisc K465i #293586463 を販売中

ID: 293586463
ヴィンテージ: 2016
MOCVD System Does not include (3) computers 2016 vintage.
VEECO/EMCORE TurboDisc K465i炉は、高収率の複雑な構造物の迅速かつ信頼性の高い製造を容易にするように設計された高度な化学蒸着(CVD)装置です。このシステムは、高精度で単結晶層の材料を費用対効果の高い方法で提供するように設計されています。このユニットは優れた熱性能と均一性を備えており、大きなチャンバー容積と最大4つの安定した蒸着源を備えています。4つの独立したガスパネルを備えており、各ガスパネルに固有のプロセス応答設定を備えた多源多層蒸着プロセスを可能にします。高性能で完全に自動化されたコントローラにより、プロセスパラメータとレシピ設定をプログラムしてプロセスの自動化と制御を行うことができます。VEECO TurboDisc K465iは、成膜のためのソースと最大4つの独立したソースの幅広い選択で優れた均一性を提供します。プロセスの再現性が0。5%で、優れた粒子サイズと形態制御、温度の均一性が+/-5C以上、25mm以上となっています。また、チャンバーの大容量と高速蒸着/エッチング速度により、高いスループットプロセスを実現します。EMCORE TurboDisc K465iのパワーは、高出力効率と正確なエネルギー制御を組み合わせた画期的な電源設計によって提供されます。高い電力密度と低い耐熱性を完璧に組み合わせ、幅広い用途に最適です。TurboDisc K465iは、高品質の制御、信頼性、再現性を提供するように設計されており、信頼性の高い生産を確保するのに役立ちます。この機械は完全に自動化されており、マルチガスおよび多層蒸着プロセスが可能です。それは研究、開発および生産の適用にとって理想的です。VEECO/EMCORE TurboDisc K465iは、高度な材料研究および成膜プロセスに不可欠なツールです。一貫した歩留まりで信頼性と再現性の高い結果を提供するように設計されており、費用対効果の高いプロセスにこれまでにない機能を提供します。
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