中古 VEECO / EMCORE TurboDisc K465i GaN #9375131 を販売中

VEECO/EMCORE TurboDisc K465i GaNリアクターは、窒化ガリウム（GaN）ベースの化合物半導体デバイスを製造するために設計された高温化学蒸着（HTCVD）ツールです。このK465iは、2つの高出力の定流反応ガスモジュールと一連の高度な制御を組み合わせ、洗練された堅牢なCVD環境を提供します。K465iは、基板表面に均一な温度プロファイルを持つオールメタル、オールガス反応モジュールです。独自のガス流送システムにより、チャンバー全体の反応ガスの分布を正確に制御しながら、均一な温度を維持することが可能なK465iです。この流れパターンを動的に制御することで、均質な反応環境が確保され、高品質のGaN結晶を生成するために不可欠です。このK465iは、高速クールダウンと起動時間で信頼性が高く効率的に設計されています。これは、手動洗浄の必要性を最小限に抑えることによってダウンタイムを削減するために自動化されたチャンバークリーニングシステムを利用しています。これは長寿命カソードと相まって、メンテナンスコストの削減とプロセスの安定性の向上をもたらします。K465iは、さまざまな次世代デバイスの研究・製造に適した幅広いプロセスコントロールを備えています。高精度のマスフローコントローラ（MFC）技術を使用することで、プロセスパラメータを正確に設定して、さまざまなGaN構造を作成できます。K465iはまた、マルチステッププロセスの使用をサポートし、その精度と変動性をさらに向上させます。このK465iは、最高レベルの性能と精度を必要とするVCSEL、レーザー、LEDなどのデバイスを製造するための理想的な選択肢です。その高度な機能により、均一な蒸着が可能になり、デバイスの表面プロファイルと電気/光学性能を正確に制御できます。強力で効率的な設計により、K465iは比類のない性能と使いやすさを提供し、高品質のGaN結晶蒸着に最適です。