中古 VEECO / EMCORE TurboDisc E450 LDM #9119474 を販売中

VEECO TurboDisc E450 LDM （Low-Density Metal）リアクターは、半導体デバイスや構造物で使用する金属を物理的に蒸発させるための商用ツールです。この高性能リアクターは、高真空環境で動作し、加熱、蒸着、酸化にマイクロ波エネルギーを使用します。このプロセスは、必要な金属の「原料」を原子炉の石英ウェーハサセプターに積み込むことから始まります。E450 LDMリアクターは、動的動作下で最大5nm/sの蒸着速度が可能であり、これらの高温を達成するために無線周波数（RF）加熱または直流（DC）加熱のいずれかを使用します。さらに、TurboDisc設計内の一定の堆積パラメータにより、ユーザーは同じ堆積プロセスを繰り返し、均一性の点で同じ構造を作成することができます。E450のLDMリアクター装置に含まれる高度なin-situ洗浄技術は、あらゆる種類の汚染が発生するのを防ぐために、システムの石英ウェーハサセプターおよびその他のコンポーネントの洗浄に不可欠な役割を果たします。このin-situ洗浄技術は、最高品質の材料が望ましい層に堆積することを保証するプロセスで塩素ガスと窒素ガスの供給源を利用しています。E450 LDMリアクターはまた、効率的な電気絶縁の利便性を提供します。これは、外部環境の変化にかかわらず、原子炉が安定して機能することを意味し、最高品質の結果が一貫して達成されることを保証します。また、E450のLDMリアクターは、頻繁な保守と維持を必要としません。つまり、ユーザーはユニットの故障のリスクを実行することなく、原子炉を長期間操作することができます。このマシンには、資産全体が常に最適に機能するように再循環する冷却ツールも含まれています。EMCORE TurboDisc E450 LDM （Low-Density Metal）リアクターは、金属の気化を必要とする幅広い用途に適した使いやすい高性能ツールです。その高度なin-situ洗浄方法、高い沈着率、電気的分離により、安定した信頼性の高い沈着モデルをお探しのお客様に最適です。